판매용 중고 SEMITOOL Equinox #9243044

세미툴 에퀴녹스 (SEMITOOL Equinox) 는 반도체 산업의 포토레시스트 (photoresist) 의 효율적인 처리 및 처리를 위해 설계된 포토레시스트 장비입니다. 레시피 개발 및 자동화를 위한 안정적인 플랫폼을 제공하는 완전 통합 (Fully Integrated) 솔루션입니다. 이 시스템은 전처리, 다중 베이커 모듈, 코팅, 노출, 개발, 베이킹 및 포스트 처리를 통합 한 종단간 포토 esist 프로세스를 특징으로합니다. 이 장치에는 자동 라인 (automatic line) 기능이 포함되어 있어 공장 자동화 제어 환경에 원활하게 통합할 수 있습니다. 프런트엔드 처리 장비의 웨이퍼 캐리어 (wafer carrier) 를 수용하여 다음 프로세스 단계로 출력하도록 구성할 수 있습니다. 이 기계는 광범위한 포토레시스트로 작동하도록 설계되었으며, 다양한 코팅, 노출, 개발 및 베이킹 프로세스를 성공적으로 처리합니다. 이 도구에는 챔버, 모듈, 프로세스 입력, 출력에 대한 정확한 제어가 가능하도록 고급 제어 소프트웨어 (advanced control software) 가 장착되어 있습니다. 각 모듈은 독점 제어 소프트웨어를 통해 독립적으로 제어 할 수 있습니다. 이 소프트웨어를 사용하면 다양한 포토리스 (photoresist) 응용 프로그램에 대한 프로세스 레시피의 개발 및 저장을 할 수 있습니다. 이 자산은 사용하기 쉬운 터치 스크린 컨트롤과 10.4 인치 TFT LCD 디스플레이로 구성되며, 이를 통해 실시간으로 프로세스를 모니터링하고 조정할 수 있습니다. Equinox에는 시각 검사 및 검증을위한 온보드 카메라도 장착되어 있습니다. 또한 정확한 온도 모니터링 및 제어를 위해 온도 프로브 (temperate probe) 가 장착되어 있습니다. 이 모델에는 문 (door) 이 열렸을 때 우발적인 시스템 작동을 방지하는 특허받은 안전 연동장비 (Safety Interlock Equipment) 를 통합하는 등, 광범위한 안전 기능이 장착되어 있습니다. 또한 회로 차단기 안전 장치 (Circuit Breaker Safety Unit) 를 통해 장애가 발생하거나 장애가 발생할 경우 시스템에 전원이 자동으로 차단됩니다. 모든 툴 작업은 지속적으로 실행되는 호스트 컴퓨터에 의해 모니터링됩니다. 전반적으로 SEMITOOL Equinox는 효율적이고 안정적인 작동을 위해 설계된 고급 포토레시스트 자산입니다. 포토레시스트 레시피 (photoresist recipe) 와 자동화 (automation) 를 개발하기 위한 통합 플랫폼과 정밀한 프로세스 모니터링 및 조정을 위한 고급 제어 소프트웨어를 제공합니다. 또한, 안전한 작동을 보장하기 위해 여러 가지 안전 기능이 장착되어 있습니다.