판매용 중고 SEMITOOL Equinox #9023047

SEMITOOL Equinox는 고급 microfabrication 프로세스에 사용하도록 설계된 포토 esist 스트리핑 장비입니다. 그것 은 광저항 층 에 강렬 한 양 의 자외선 을 가하여 작동 시켜, 특정 한 지역 에서 "에너지 '를 분해 시킨다. 빛의 용량을 조절하고 주파수를 변화시킴으로써, 노출된 영역의 모양을 조작하여 특정 패턴 (specific pattern) 을 만들 수 있습니다. 이 시스템은 최대 150mm 크기의 웨이퍼 (wafer) 를 처리할 수 있도록 설계되었으며, 해상도는 1 ½ m입니다. 이 장치는 마이크로 일렉트로닉스 제조 (microelectronics manufacturing) 에 사용되는 모든 유형의 포토 esist의 빠른 스트리핑에 사용됩니다. 여기에는 산 및 알칼리 포토 esist, deep-UV photoresist 및 기타 특수 포토 esist가 포함됩니다. 이 기계는 또한 메모리 회로 (memory circuit), 논리 장치 (logic devices) 및 기타 복잡한 구조와 같은 작은 기능에서 포토 esist의 미세 해상도를 제거 할 수 있습니다. 에퀴녹스 (Equinox) 는 fl exible 및 customizable 로 설계되었으므로 다양한 기판의 요구 사항을 충족하도록 맞춤 조정할 수 있습니다. 사용자에게 친숙한 그래픽 인터페이스를 갖춘 디지털 제어 도구가 특징입니다. 이렇게 하면 매개 변수를 쉽게 설정하고 조정할 수 있으므로 프로세스 일관성이 크게 향상됩니다. 자산의 고급 엔지니어링 (Advanced Engineering) 은 또한 가능한 가장 짧은 프로세스 시간을 보장하여 처리량을 향상시킵니다. 또한 포토 esist 스트리핑 과정에서 생성 된 폐기물 양을 줄입니다. 이 모델은 또한 저온으로 작동하여 섬세한 부품에 대한 손상 위험을 줄입니다 (영문). SEMITOOL Equinox (SEMITOOL Equinox) 는 우발적 노출이 발생하지 않도록 자동 전원 차단 및 인터 록을 통해 안전성을 염두에 두고 설계되었습니다. 또한, 안전한 작동을 보장하기 위해 2 차 및 3 차 안전 인터 록이있는 Class 1 레이저 장비를 갖추고 있습니다. 탁월한 성능, 안정성, 안전성을 자랑하는 Equinox 는 다양한 포토레시스트 (photoresist) 스트리핑 애플리케이션을 위한 완벽한 툴입니다. 메모리 회로, 논리 장치, 다른 복잡한 구조에 이르기까지, SEMITOOL Equinox는 전문적인 결과를 달성하는 데 선호되는 도구입니다.