판매용 중고 SEMITOOL Equinox #9023046

SEMITOOL Equinox (SEMITOOL Equinox) 는 저항성 재료 및 에칭 공정의 정확한 적용을 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 반도체 제조업의 요구를 뒷받침하기 위해 개발된 "비용 효율적이고 강력한 '시스템이다. Equinox 장치는 습식 에칭, 건식 에칭, 스퍼터링 및 화학 기계 연마 (CMP) 를 포함한 광범위한 프로세스를 처리 할 수 있습니다. 이 기계는 단일 웨이퍼 응용 프로그램을 위해 설계되었으며, 높은 웨이퍼 처리 정확도를 제공합니다. 또한 기판 소비가 적고 운영 비용이 적다는 특징이 있습니다. 이 도구에는 고급 진단, 레시피/레시피 테스트, 자동 프로세스 성능 모니터링을 지원하는 온보드 컨트롤러 (온보드 컨트롤러) 가 장착되어 있습니다. 또한 고도의 정밀도를 제공하며, 선택적 에치 (etch) 기능은 정확도를 손상시키지 않고 원하는 결과를 달성합니다. 자산은 4 개의 독립 챔버 (independent chamber) 로 구성되며 공정 챔버에 교차 오염 및 실수로 입자를 도입하지 않도록 분리 된 모델 환경을 제공합니다. 이렇게 하면 시간과 에너지가 절약되고 프로세스 수익률이 향상됩니다. 장비의 웨이퍼 홀더 (wafer holder) 는 기판로드, 언로드 및 웨이퍼 운송이 용이하며 챔버 디자인은 웨이퍼 중심을 용이하게합니다. 또한 현장 수준의 드리프트 모니터링 시스템이 특징이며, 이는 정확도를 더욱 향상시킵니다. SEMITOOL Equinox 장치에는 수동 또는 자동화된 두 가지 작동 모드가 있습니다. 수동 (Manual) 모드는 일반적으로 처리량이 낮지만 프로세스 매개변수를 보다 효율적으로 제어할 수 있습니다. 오토메이티드 모드 (Automated Mode) 는 머신 비용이 낮고 처리량이 높지만, 더 높은 수준의 프로세스 제어 및 전문 지식이 필요합니다. Equinox 툴은 탁월한 처리 능력 외에도 다양한 액세서리/업그레이드 옵션을 제공합니다. 여기에는 스피너, 웨이퍼 (Wafer) 조사 시스템, 향상된 이온 소스 모듈, 고급 백엔드 모듈 및 프로세스의 정확성을 향상시키기 위해 설계된 다양한 소프트웨어 옵션이 포함됩니다. 결론적으로, SEMITOOL Equinox (SEMITOOL Equinox) 자산은 제조업체가 높은 성능 수준을 달성하는 데 도움을주기 위해 설계된 고급 포토리스 (photoresist) 모델입니다. 광범위한 기능을 통해 사용자는 고객의 '애플리케이션 요구 사항' 에 가장 적합한 솔루션을 찾을 수 있습니다.