판매용 중고 SEMITOOL Equinox #293797045

SEMITOOL Equinox는 photolithography 프로세스의 생산성을 높이기 위해 설계된 photoresist 장비입니다. 로드/언로드 프로세스를 간소화하고, 수작업을 줄이고, Cleanroom 호환성을 제공하도록 설계되었습니다. 이 제품은 고급 반도체 및 MEMS Fabs 에 이상적인 컴팩트하고 경제적인 툴을 제공합니다. Equinox는 혁신적인 DPTS (Dual Platen Transport System) 를 갖추고 있습니다. 이 단위를 사용하면 가공소재를 동시에 로드하고 언로드할 수 있으므로 처리 시간을 줄이고 처리량을 대폭 늘릴 수 있습니다. 이 기계는 또한 완전히 자동화 된 기판 및 어댑터 처리를 특징으로하며, 이는 수동 개입을 방지합니다. 이 도구는 또한 클린 룸 (cleanroom) 과 호환되며 입자 오염을 줄이기 위해 최첨단 디자인 요소를 특징으로합니다. 이러한 설계 요소에는 웨이퍼 챔버, 밀봉 된 웨이퍼 전송 컨베이어 및 가스 버블 웨이퍼 캐리어 사이의 동적 입자 격리가 포함됩니다. 또한이 도구에는 통합 CEM (Controlled Enclosure Module) 이 장착되어 있습니다. 이 모듈은 오염을 방지하고 추가 공기 여과 없이 클린 룸 작동을 허용하는 폐쇄 환경을 만듭니다. SEMITOOL Equinox에는 사용자에게 친숙한 LCD 터치 스크린 인터페이스도 있습니다. 직관적인 메뉴 구조는 작동이 쉽고, 표준 콘솔보다 더 많은 유연성을 제공합니다. 이 도구에는 다양한 재료 (materials) 에 최적화된 프로세스를 포함하여 광범위한 표준 레시피 라이브러리가 장착되어 있습니다. Equinox는 반도체 및 MEMS 제작 요구에 이상적인 솔루션을 제공합니다. 높은 생산성, 뛰어난 Cleanroom 호환성, 사용자 친화적 운영 및 유연한 프로세스 제어 기능을 제공합니다. 따라서 고급 fabs의 photolithography 프로세스에 이상적인 도구입니다.