판매용 중고 SEMITOOL Equinox #293659794
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ID: 293659794
빈티지: 2007
Electroplating system
Package: Plastic wrap
Dimensions: (L)1190 mm x (W) 775 mm x (H) 1235 mm
Dry film dimension:
Film width: 150~640 m/m
Membrane diameter: ≤ 4250 mm
Feeding section:
31.5 m/m, P= 76 m/m
Roller: Aluminium
Size (cm): 190 x 160 x 192
Temperature control: PID type S.S.R drive
Manual feeder
Temperature range: 120°C
Power supply: AC 220 V 1φ, 50/60 Hz, 3.5kVA
2007 vintage.
SEMITOOL Equinox는 고급 석판 공정을 위해 설계된 사진주의 장비입니다. 미세 제작 공정을 위해 특별히 설계된 Equinox는 최첨단 시스템 (State-of-Art) 으로, 매우 정밀한 반도체 부품을 제조하는 데 사용할 수 있습니다. SEMITOOL Equinox (SEMITOOL Equinox) 는 이해하기 쉬운 메뉴 장치를 갖춘 사용자 친화적 인 터치스크린 인터페이스를 포함한 최신 기술을 제공합니다. 이 "머신 '은 신속 하고 자동화 된 처리 를 할 수 있으며, 정확 한 석판화 결과 에 필요 한 초음파 환경 을 유지 하면서, 더 빠른 제작 시간 을 허용 한다. Equinox는 또한 기판 전처리, 양면 코팅, 접착제 결합, 저항 및 바닥 반사 방지 코팅, 스핀 코트 처리, 소프트 베이크, 스핀 개발, 에치, 스트리핑 및 CMP (화학 기계 연마) 를 포함한 다양한 기능을 제공합니다. photoresist 도구는 효율성이 높으며 최소한의 유지 보수가 필요합니다. 저비용 (LC) 장비와 효율적인 빌드 구조는 제조 비용이 여전히 낮습니다. 또한, 이 자산은 빠른 처리 및 실험실 자동화를 용이하게하도록 설계되었으며, 이는 더 작은 생산 배치에 특히 유익합니다. SEMITOOL Equinox photoresist 모델은 또한 금속, 박막, 두꺼운 막, 폴리 이미 드 및 유기 기질을 포함한 광범위한 기질을 지원합니다. 그 에 더하여, "레지스트 '와 기판 재료 는 통합 저장 장치 에 저장 되어 있으며, 그것 을 쉽게 액세스 할 수 있다. 에퀴녹스 (Equinox) 는 기판, 저항 및 청소 기능 외에도 웨이퍼 형태나 기판 유형에 따라 상단/하단 정렬을 빠르게 조정할 수 있는 실시간 자동 정렬 카메라를 갖추고 있습니다. 이것은 상단 장착 후면 광학 조명 카메라와 고급 소프트웨어 알고리즘 (advanced software algorithm) 의 조합을 통해 달성됩니다. 전반적으로 SEMITOOL Equinox 포토레지스트 시스템은 반도체 부품의 마이크로 제작 프로세스를 지원하도록 설계된 혁신적이고 고급 석판화 장치 (lithography unit) 입니다. 특화된 기능, 사용 편이성, 비용 효율성을 갖춘 이 머신은 고정밀도 (high-precision) 구성요소 및 제품을 쉽게 생산할 수 있습니다.
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