판매용 중고 SEMITOOL Equinox #293648582

SEMITOOL Equinox는 반도체 제작을 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 광전자 시스템은 반도체 제조에 사용되어 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 에 반도체 재료 층을 만듭니다. Equinox 시스템은 운영 속도를 높이고 인건비 (인건비) 를 줄이는 자동화된 프로세스를 제공합니다. SEMITOOL Equinox는 시간당 최대 300mm로 4 인치 또는 6 인치 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 오픈 플랫폼 (open platform) 설계를 통해 사용자는 사용자 정의 소프트웨어 알고리즘을 처리 제어 체계에 빠르고 쉽게 통합 할 수 있습니다. 소프트웨어 옵션은 고급 photolithographic 도구 및 단계, 반복, 이미지 흐림, 고급 정렬 등의 기술을 지원합니다. Equinox는 견고한 2 잠금 웨이퍼 전송 장치를 갖추고 있습니다. 이렇게 하면 웨이퍼와 관련 마스크 간에 정밀하게 정렬할 수 있습니다. 또한 더 나은 웨이퍼 처리를 위해 통합 중심 기능을 갖춘 이중 단계 스핀 척 (spin chuck) 이 있습니다. SEMITOOL Equinox (Semitool Equinox) 는 또한 강력한 알루미늄 및 부식 내성 구성 요소로 구성된 프레임으로 안정성과 견고성을 위해 설계되었습니다. 컴퓨터의 소프트웨어는 정확성과 반복 가능성을 보장하도록 설계되었습니다. 안정적인 솔리드 스테이트 (solid state) 운영 플랫폼에서 실행되며 실시간 프로세스 모니터링 및 분석을 제공합니다. 또한 최대 5 개의 사용자 기반 제어 체계를 제공하며, 매크로 파일 생성 및 실행 기능도 제공합니다. Equinox의 히터 단계는 정밀 온도 제어를 제공하여 빠르고 정확한 패턴 이미징을 보장합니다. 이 도구는 또한 조정 가능한 슬릿을 특징으로하며, 사용자가 패턴을 조정할 수 있습니다. SEMITOOL Equinox 는 표준 패턴 알고리즘 (Standard Pattern Algorithm) 과 맞춤형 스크립트 (Custom Script) 를 지원하며 고객의 요구에 맞게 맞춤식 노출을 수행할 수 있는 옵션을 제공합니다. 이 자산은 또한 최대의 프로세스 제어 및 균일성을 제공하도록 설계되었습니다. 즉, 프로세스의 각 요소에 대해 별도의 컨트롤러 (controller) 를 제공하여 모든 프로세스 매개변수를 쉽게 모니터링하고 조정할 수 있습니다. 또한 Equinox 는 개발 시간을 최소화하고 툴 활용도를 향상시키는 고급 캐싱 모델을 제공합니다. 결론적으로, SEMITOOL Equinox 장비는 고 처리량 반도체 제조에 이상적인 안정적이고 컴팩트한 포토 esist 시스템입니다. 자동화된 프로세스, 정밀 온도 제어, 강력한 웨이퍼 전송 장치 (Wafer Transfer Unit) 및 고급 패턴 옵션 (Patterning Options) 을 통해 모든 칩 제작 요구에 적합한 옵션을 선택할 수 있습니다.