판매용 중고 SEMITOOL Equinox #293646994

SEMITOOL Equinox는 스핀 코팅, 스프레이 코팅, 딥 코팅, 슬롯 코팅 기술 등 다양한 응용 분야에 사용되는 photoresist 장비입니다. 이것 은 복잡한 "기판 '을 처리 할 때 에도" 포토리스' "코우팅 '과정 을 정확 히 제어 하도록 설계 되었다. Equinox에는 다른 시스템과 구별되는 몇 가지 주요 기능이 있습니다. 시스템의 자동 분배 컨트롤러는 정확하고 반복 가능한 photoresist 웨이퍼 로딩을 보장합니다. 이렇게 하면 정확한 프로세스 매개 변수를 유지하는 데 필요한 시간과 리소스가 줄어듭니다. SEMITOOL Equinox의 또 다른 유용한 기능은 AutoClave 기술입니다. AutoClave 기술은 진공 챔버 (vacuum chamber) 와 자외선 조사 (ultraviolet irradiation) 를 사용하여 포토 esist를 건조하고 치료합니다. 이렇게 하면 건조 공정 (drying process) 의 필요성이 없어지고 처리량 및 사용 시간이 향상됩니다. 이 장치에는 또한 최고 1000 ° C (1832 ° F) 의 포토 esist를 어닐링하도록 설계된 혁신적인 슬롯 코팅 헤드가 있습니다. 이러한 기능 외에도, Equinox 머신 (Equinox Machine) 은 프로세싱 매개변수를 최적화하여 특정 애플리케이션에 가장 적합한 결과를 얻을 수 있는 유연성을 제공합니다. 스핀 속도, 기판 온도, 노출 시간 등의 변수를 모두 조정하여 원하는 결과를 얻을 수 있습니다. 이 도구에는 다양한 액세서리가 포함되어 있어 다양한 기능을 제공합니다. 예를 들어, 자동 웨이퍼 중심 장치 (Automated Wafer Centering Unit) 를 사용하여 정확한 위치를 보장할 수 있으며 스프레이 코팅 응용 프로그램을위한 여러 Showerhead 어셈블리가 있습니다. 자산은 터치스크린 인터페이스와 자가 진단 (self-diagnostics) 기능 덕분에 사용 및 유지 관리가 용이합니다. 또한 매우 신뢰할 수 있도록 설계되었으며, 중단 없이 한 번에 최대 8 시간까지 작동합니다. 따라서 운영 자동 실행에 특히 적합합니다. 또한, SEMITOOL Equinox 는 모든 실험실 또는 회사 설치 환경에 적합한 컴팩트 (compact) 모델이므로 기존 프로세스에 쉽게 통합할 수 있습니다. 마지막으로, 이 장비에는 포괄적인 1 년 보증이 제공되며 경쟁력 있는 가격으로 제공됩니다.