판매용 중고 SEMITOOL Equinox E0212 #70448

SEMITOOL Equinox E0212는 집적 회로 (IC) 생산에 사용되는 포토 esist 장비입니다. 최대 1.2 초의 레지스트 스텝과 12 m의 기능 크기를 지원할 수있는 완전한 기능의 시스템입니다. 이 장치는 양성 광저장제, 음성 광저장제, 용매 내성, 깊은 UV 포토 esist. Equinox E0212에는 5축 코터/개발자 헤드가 장착되어 있어 정확하고 균일 한 저항 코팅 및 개발이 가능합니다. 이 기계에는 저항을위한 2 구역, 재킷, 스테인리스 스틸 탱크 및 나머지 3 대의 탱크를위한 배치 레벨 도구가 포함되어 있습니다. SEMITOOL Equinox E0212는 고급 로봇 기술과 통합되어 최대 318mm x 318mm의 대형 기판을 처리 할 수 있습니다. 자산은 전기 기계 웨이퍼 리프팅 (electro-mechanical wafer lifting) 및 자동 레벨 링 (auto-leveling) 기술을 사용하여 기판 로딩의 균일성을 보장하고 12m 선 너비의 생산 수준 수율을 제공합니다. Equinox E0212의 기능은 물론, 운영 처리량도 향상시키도록 설계되었습니다. 인라인 동요 (inline agitation), 전기 기계식 챔버 (electro-mechanical chamber) 덮개, 속도 제어 시스템 등 다양한 고속 프로세스와 스텝 처리 중 저항 손실을 최소화하기 위해 제거 제어 모델을 지원합니다. 이 장비에는 보정 및 시스템 상태 모니터링을 위한 지능형 진단 기능도 포함되어 있습니다. 사용자 안전을 보장하기 위해 SEMITOOL Equinox E0212에는 클린 룸 모니터링 (Clean Room monitoring), 레이저 분리 (laser fracture) 및 유해 재료 관리 시스템 (Hazardous Material Management System) 과 같은 안전 및 모니터링 시스템이 장착되어 있습니다. 이 장치에는 긴급 정지 장치 (Emergency Stop Machine) 도 포함되어 있습니다. 이 기계는 위험한 상황이나 도구 오작동에서 활성화됩니다. 전체적으로 Equinox E0212 (Equinox E0212) 는 정밀도 및 효율성을 갖춘 다양한 포토 esist 화학 물질을 처리하도록 설계된 완전한 기능의 포토 esist 자산입니다. 5 축 코터/개발자 헤드 및 전기 기계 웨이퍼 리프팅 (Electro-Mechanical Wafer Lifting) 과 같은 고급 기능을 사용하여 피쳐 생산 레벨 수율로 기판을 처리 할 수 있습니다. 또한 안전을 염두에두고 설계되었으며, 여러 안전 및 모니터링 시스템이 포함되어 있습니다.