판매용 중고 SEMITOOL EQ23 #9287636

SEMITOOL EQ23 장비는 반도체 집적 회로 및 기타 마이크로 일렉트로닉 장치 제조에 사용하기 위해 설계된 포토리스 (photoresist) 시스템입니다. 포토레시스트 (photoresist) 및 기타 반도체 제조 프로세스에 고출력 솔루션을 제공하기 위해 설계된 일련의 모듈을 갖춘 자동 트랙 기반 장치 (automated track-based unit) 입니다. EQ23 시스템은 모듈식 아키텍처로 설계되었으며, 두 개의 개별 트랙으로 구성되어 있습니다. 1 차 트랙은 photoresist 처리를위한 습식 모듈, spin rinse dryer 모듈, photoresist 스트립 모듈 및 photoresist 적용을위한 spin coat 모듈을 포함하여 4 개의 프로세스 모듈로 구성됩니다. 두 번째 트랙은 3 개의 추가 모듈 (에칭을위한 스핀 에치 모듈, 에칭 후 칩을 청소하기위한 깨끗한 모듈, 시각적 점검을위한 검사 모듈) 으로 구성됩니다. 이 도구를 사용하면 모든 재료 전송 (material transport) 및 프로세스 함수 (process function) 및 온보드 프로세스 매개변수 조정을 완벽하게 제어할 수 있습니다. 습식 모듈에는 포토 esist 화학 물질을위한 저수지 세트, 포토 시스트 패튼 닝 (phtoresist pattenning) 용 응용 프로그램 및 레지스트 패턴의 균일성을 보장하는 유전체 가열 샤워 노즐 (Dielectric heated shower nozzle) 이 포함됩니다. 스핀 린스 드라이어 (spin rinse dryer) 모듈은 저항을 기판에서 멀리 돌리는 데 사용되며, 나머지 저항은 스트립 (strip) 모듈을 사용하여 자동으로 제거됩니다. 스핀 코트 모듈 (spin coat module) 은 기판 위에 포토 esist의 균일 한 증착을 제공하기 위해 고안되었으며, 스핀 에치 모듈 (spin etch module) 은 원치 않는 금속을 반입하는 데 사용됩니다. 클린 모듈 (Clean module) 은 금속 에칭 후 기판을 철저히 청소하도록 설계되었으며, 검사 모듈은 처리 된 다이 (dies) 의 품질을 시각적으로 검사하는 데 사용됩니다. 이 자산은 사용자 친화적 인 운영과 안정적인 성능을 통해 효율적인 생산을 제공합니다. 모듈식 설계 (Modular Design) 를 통해 사용자는 개별 프로덕션 프로세스의 요구에 맞게 모듈을 수정 또는 추가할 수 있으며, 온보드 프로세스 매개변수 (On-board process parameter) 조정을 통해 프로세스를 최적화할 수 있는 어느 정도의 유연성을 제공합니다. SEMITOOL EQ23 (SEMITOOL EQ23) 은 반도체 부품의 정밀 생산을 위해 자동화된 photoresist 모델을 찾는 사용자에게 필요한 솔루션을 제공합니다.