판매용 중고 SEMITOOL ECP LT210 Cu #9095392

SEMITOOL ECP LT210 CU는 반도체 산업에서 대규모 생산을 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 다양한 포토레시스트 (photoresist) 재료를 처리하기위한 통합 환경입니다. 이 제품은 리소그래피 (lithography) 프로세스를 위한 강력하고 자동화된 플랫폼을 제공하며, 필름 두께와 프로파일 제어를 정확하게 수행할 수 있습니다. 시스템은 단일 하드웨어 장치, 로드 잠금 로드 포트, 프로세스 챔버, 관련 제어 소프트웨어로 구성됩니다. 공정 챔버에는 빠른 프리 베이크 및 노출 후 베이크 사이클을 위해 맞춤형 난방/냉각 모듈이 포함되어 있습니다. 이 장치에는 또한 포토 esist 물질의 노출을 정확하게 제어하는 중앙 위치 스프레이 건 (spray gun) 이 포함되어 있습니다. 스프레이 건 (Spray gun) 은 포토 esist를 에로졸화시키고, 균일 하고 일관된 침전물로 포토 esist를 웨이퍼 표면에 분배합니다. 또한, ECP LT210 CU는 빠르고 효율적인 기판 로딩 및 언로드를 위한 프로그래밍 가능한 스핀 모터와 척 (chuck) 을 갖추고 있으며, 조작자 제어 및 진단이 용이한 터치스크린 제어판도 갖추고 있습니다. 이 기계에는 빠른 레시피 변경 및 예측 유지 관리 일정을 허용하는 자동 수동 입력 (manual input) 도 있습니다. 전반적으로 SEMITOOL ECP LT210 CU는 신뢰할 수 있고 효율적인 포토 esist 툴로, 반도체 업계의 대규모 생산 운영에 이상적입니다. 통합 환경은 필름 두께와 프로파일 제어를 일관되게 보장하고, 정확한 노출 제어 (Exposure Control) 와 빠른 레시피 (Recipe) 변경을 보장하는 자동화된 플랫폼을 제공합니다. 이 자산은 또한 빠르고 효율적인 기판 로딩 및 언로드가 가능하며, 운영 및 유지 보수가 용이합니다.