판매용 중고 SEMITOOL Cintillio #293821823
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ID: 293821823
빈티지: 2011
Spray Solvent Tool (SST)
Single Chamber
50-wafer clamshell rotor long
(4) Heated tanks
(4) LEVITRONIX Pumps
P/N: SST 441-102841
2011 vintage.
SEMITOOL Cintillio는 photoresist 응용 프로그램을 위해 설계된 공정 장비 장비입니다. 포토리스 응용 프로그램에 종합적이고, 안정적이며, 고품질 솔루션을 제공합니다. 친틸리오 (Cintillio) 는 균일 한 공정을 제공하여 평평한 표면에 포토 esist 필름 코팅을 제공합니다. 다양한 표면 크기와 두께로 photoresist를 코팅 할 수 있으며, photoresist engraving, deep UV 및 기타 응용 분야에 이상적인 솔루션입니다. 코팅 공정은 고도로 자동화되어 있으며, 전체 기판에 걸쳐 일관되고, 균일하며, 제어 가능한 포토 esist 필름 층을 생성합니다. 이 시스템은 정밀, 저응력, 정밀하게 제어 된 로봇을 사용하여 포토 esist를 적용하여 원하는 결과를 만듭니다. 또한 쉽고 직관적인 작동을 위해 그래픽 인터페이스가 제공됩니다. SEMITOOL Cintillio는 자동 웨이퍼 방향 감지, 고정밀 포지셔닝, 단일 버튼 레시피 설정, 자동 압력 제어 및 특허를받은 핀 등록 자체 정렬 장치를 제공합니다. 동적 압력 제어 (Dynamic Pressure Control) 를 통해 프로세스를 다양한 웨이퍼 유형으로 자체 조정하여 최적의 커버링 결과를 얻을 수 있습니다. 친틸리오 (Cintillio) 는 신뢰할 수 있는 운영을 제공하며, 전문가 팀의 지원을 받아 문제가 발생할 경우 지속적인 지원 및 유지 보수 서비스를 제공합니다. 또한 그래픽 디스플레이 (Graphical Display) 에 대한 진단 유틸리티를 제공합니다. 이 진단 기능은 모든 기술적 장애를 신속하고 정확하게 진단하고 신속하게 문제를 해결할 수 있습니다. SEMITOOL Cintillio는 또한 포토레스 식 (photoresist equation) 과 매개변수를 사용자 정의, 적응 및 개선하는 기능을 갖춘 업계 최고의 과학 및 엔지니어링 기능을 제공합니다. 기존 운영 시스템에 쉽게 통합할 수 있어 포토레시스트 (photoresist) 애플리케이션을 위한 비용 효율적인 솔루션입니다. 요약하면, Cintillio는 photoresist 응용 프로그램을 위해 설계된 고급 프로세스 머신입니다. 모든 크기나 두께에 걸쳐 안정적인 프로세스 제어 및 일관된 포토리스 필름 커버리지를 제공합니다. 고정밀 위치화 (high-precision positioning) 와 동적 압력 제어 (dynamic pressure control) 를 통해 포토지스트 조각, 딥 UV 및 기타 포토레지스트 응용 프로그램에 적합한 솔루션입니다. 고품질 애플리케이션을 제공하는 것이 입증되었으며, 기존 운영 시스템에 쉽게 통합할 수 있습니다.
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