판매용 중고 SEMITOOL Cintillio #293653477

SEMITOOL Cintillio는 반도체 통행, 포장 및 조립 프로세스에 사용하도록 설계된 고급 포토 esist 장비입니다. Cintillio는 변조 된 하향 스핀 코터, 하단 스프레이어 및 레이저 구동 기판 핸들러/포커싱 장치를 포함하는 모듈식 자동 시스템입니다. 매우 효과적인 포토 esist 코팅 기술은 정확한 정확도로 S-I-O 상호 연결, 장치 및 수동화 된 구조를 생산하는 데 도움이됩니다. SEMITOOL Cintillio 스핀 코터 (Spin Coater) 는 특허 바구니 플랫폼으로 시작하여 회전 또는 흔들림으로 프로세스 최적화를 신속하게 수행할 수 있습니다. 그것 은 감광제 를 전체 기판 표면 에 균등 하게 분포 하는 특별 히 설계 된 "응용실 '을 가지고 있다. 그 뒤에는 필름 무결성, 프로세스 반복성 및 전체 영역 커버리지가 높은 균일 한 저항 레이어를 생성하는 하향식 스핀 코팅 (top-down spin-coating) 이 있습니다. 친틸리오 (Cintillio) 는 또한 기판의 역면에 포토 esist를 적용하기위한 하단 스프레이어를 통합합니다. 이를 통해 기판 뒷면의 저항성 두께 (Resist thickness) 와 균일성 (uniformity) 을 적용 과정에서 제어 및 반복 할 수 있습니다. 레이저 구동 기판 핸들러/포커싱 머신은 포토 esist 코팅 프로세스 후 (photoresist coating process) 에 대한 정확한 광학 포커싱을 제공하도록 설계되었습니다. 이 도구는 반복 가능한 정확도로 기판을 등록 마크 (registration mark) 에 집중하므로 반복 가능한 오버레이 정확도를 허용합니다. 모듈에는 다중 레이저 에셋이 내장되어 있어 여러 장치를 한 번에 처리할 수 있습니다 (영문). 이 모델은 추적 가능한 기판 추적, 프로세스 제어 및 프로세스 검토를 제공하면서 다양한 웨이퍼 크기와 구성으로 포토리스 (photoresist) 처리를 할 수 있습니다. SEMITOOL Cintillio 장비는 유연하고 효율적이며 빠르고 쉬운 프로세스 최적화를 지원합니다. 이 시스템을 사용함으로써, 사용자는 실험실, 생산, 반도체 장치를 정확하고 재현적으로 생산할 수 있습니다.