판매용 중고 SEMITOOL CDU-C2-01 #9093501
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ID: 9093501
빈티지: 1998
Chemical delivery unit
For spray acid tools (SAT Series)
Spray solvent tools (SST Series)
(4) Chemical tanks
(4) Separate chemicals
DI Water return
Supply connections
CDA (clean dry air)
Supply facility requirement: 90 PSI Max
N2 Supply facility requirement: 80 PSI Max
(6) Trebor magnum 610 diaphragm pumps installed:
Software version: CDU-402, 1.03
Full load current: 3A
Largest motor or load: 3 A
Short circuit interrupt: 3500 A
120 VAC, Single phase, 3-wire, 50 / 60 Hz
1998 vintage.
SEMITOOL CDU-C2-01은 효율적이고 안정적인 포토 esist 처리를 갖춘 반도체 제조 시설을 갖추도록 설계된 포토 esist 장비입니다. 뛰어난 포토 esist 처리를 위해 고급 기계 및 제어 엔지니어링의 최첨단 조합을 사용합니다. 이 시스템은 고성능, 대용량, 진공조합 (vacuu-ised) 로드록 챔버와 고급 스캐닝 로봇 장치를 통합하여 웨이퍼 로드/언로딩에서 프로세스 모듈 내에서 이동까지 완벽한 이동성을 제공합니다. 챔버 클리닝 (chamber-cleaning) 기능과 결합된 자동화로 인해 시간당 최대 20 개의 웨이퍼가 처리됩니다. 이 기계에는 21 인치 웨이퍼 처리 기능 및 빠르고 신뢰할 수있는 스핀 린스 드라이 (spin-rinse-dry) 프로세스와 같은 기능이 포함되어 있습니다. 추가 기능은 역방향 스핀 오토 센터 사이클 (reverse spin-auto-center cycle) 을 통해 웨이퍼를 최적화하는 것으로, 포토레스 처리 (photoresist processing) 에 처음으로 달성되었습니다. 또한, 고급 자체 진단 도구가 통합되어 운영 성능을 극대화할 수 있습니다. 또한, CDU-C2-01의 자체 포함 특성은 또한 작은 자산 공간을 허용합니다. 이렇게 하면 다른 운영 시스템에 비해 모델이 차지하는 공간이 줄어듭니다. 안전성 (Safety and 안정성) 측면에서, 이 장비는 병렬로 작동하는 여러 로봇에 안전하고 안전한 환경을 제공합니다. 따라서 위험 요소를 줄이고 시스템 안정성을 보장할 수 있습니다. 이 모든 기능은 SEMITOOL CDU-C2-01의 탁월한 성능을 제공합니다. 신뢰할 수 있고 비용 효율적인 포토레시스트 (photoresist) 처리에 적합하며 기존 생산 라인에 쉽게 통합 될 수 있습니다.
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