판매용 중고 SEMITOOL CD-E1/750 #159333

SEMITOOL CD-E1/750은 포토 마스크 생산에서 애싱 (ashing), 회전 (spinning) 및 건조 (drying) 주기를 최적화하도록 설계된 고성능 포토 esist 장비입니다. 고급 반도체 프로세스의 엄격한 사양과 요구 사항을 따릅니다. 이 시스템에는 APC (Atmospheric pressure chamber) 애싱, CMP (chemo-mechanical planarization) 연마 및 스핀 코트 증착과 같은 여러 단계의 자동 프로세스가 있습니다. 포토레스 장치 (photoresist unit) 는 사전 프로그래밍 된 카세트 사이클링 및 효율적인 레시피 개발을 포함한 고급 제어 기술을 통합합니다. 약실 내 의 대기 는 끊임없이 질소 로 제거 되며, 산소 나 물 에 의한 오염 을 피한다. 이 기계는 고급 정전기 방전 (ESD) 보호 기능을 갖추고 있으며 전체 정전기 안전성을 보장하기 위해 Class 1000 및 Class 10,000 클린 룸 환경에서 모두 사용할 수 있습니다. SEMITOOL CD-E1/750 photoresist 도구는 뛰어난 성능, 뛰어난 균질성 및 고품질 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 전체 기판에 걸쳐 높은 증착 정확도 (나노 미터 수준까지 정확도) 를 제공 할 수 있습니다. 또한 높은 처리율과 빠른 재싱 성능을 자랑합니다. 이 자산은 또한 화학 소비, 폐기물 및 가공 시간을 강력하게 줄이는 것으로 입증되었습니다. 또한, 이 모델은 사용자에게 친숙한 인터페이스를 제공하여 모든 프로세스 단계에 대한 정확한 모니터링, 제어, 보고 기능을 제공합니다. 데이터 로깅 (data logging) 및 분석 (analysis) 기능을 통해 각 배치 결과에 주의를 기울일 수 있으며 조정 가능한 클램프와 스핀스톱 (spin-stop) 을 통해 각 프로세스를 손쉽게 조정하고 사용자 정의할 수 있습니다. 전체적으로 SEMITOOL CD-E1/750 Photoresist Equipment는 모든 반도체 제조 프로세스에 대해 안정적이고, 효율적이며, 사용자 친화적 인 선택입니다. 또한 모든 엄격한 표준을 충족하도록 만들어졌으며, 포토 마스크 (photomask) 의 생산에서 최적의 재 (ashing), 회전 및 건조 성능을 허용합니다.