판매용 중고 SEMITOOL / CALOGIC ST-870 #9265369

SEMITOOL/CALOGIC ST-870은 실리콘 웨이퍼의 고급 처리를 위해 설계된 최고급 포토 esist 장비입니다. 고출력 UV 스테퍼를 사용하여 웨이퍼 (wafer) 에 패턴을 노출시킨 다음 특수 액체 (liquid) 와 공정 (process) 을 사용하여 표면으로 옮길 수 있습니다. CALOGIC ST-870 (CALOGIC ST-870) 은 매우 정확한 이미지를 제작할 수 있으므로 복잡하고 복잡한 장치와 회로를 개발하는 데 필수적인 역할을 할 수 있습니다. SEMITOOL ST-870의 시스템 설계는 5 축 스캔 테이블을 기반으로하며, 이는 최대 300 개의 웨이퍼를 동시에 고속 및 저속 스캔할 수 있습니다. 또한 일련의 고급 빔 정렬 모니터 (advanced beam alignment monitor) 를 통해 각 노출 전에 스테퍼를 올바르게 배치할 수 있습니다. 이렇게 하면 가장 복잡한 이미지에 대해 최고 수준의 정확도를 보장할 수 있습니다. 세인트 870 (ST-870) 은 고급 스캐닝 알고리즘을 사용하여 패턴 인쇄의 충실도를 향상시켜 기능 세부 (feature detail) 수준을 높이고 적용 범위의 균일성을 높입니다. 이 기술은 또한 전체 웨이퍼 (wafer) 를 노출시키는 데 필요한 시간을 최소화하여 생산성을 높이는 데 도움이 됩니다. 가장 높은 수준의 청결을 달성하기 위해 SEMITOOL/CALOGIC ST-870은 미립자 오염을 제한하도록 설계된 다양한 기능을 갖추고 있습니다. 습도 수준을 효과적으로 제어하는 한편, 뛰어난 용매 격리 (solvent containment) 및 현장 화학 재활용 (recycling) 기능을 제공합니다. 자동 청소 (Automatic Cleaning) 프로세스도 매우 가능하여 유닛의 성능을 극대화하는 데 도움이 됩니다. CALOGIC ST-870은 이미징 기능 외에도 도량형 및 품질 보증 기능을 갖추고 있습니다. 자동화된 결함 검사 (automated defect inspection) 및 검토 (review) 와 테스트 구조를 빠르고 정확하게 생성하여 보다 신속한 수율 평가 및 문제 해결을 지원합니다. 요약하면, SEMITOOL ST-870은 고정밀 장치 제조를 위해 설계된 고급 포토 esist 기계입니다. 일련의 고급 광학 (advanced optics) 과 스캐닝 알고리즘 (scanning algorithm) 을 다양한 cleanroom 및 metrology 기능과 결합하여 이미징 프로세스를 이전보다 빠르고, 깨끗하며, 정확하게 만듭니다.