판매용 중고 SEMITOOL / CALOGIC ST-870 #9265366

SEMITOOL/CALOGIC ST-870은 반도체 산업에서 실리콘 웨이퍼 처리를 위해 설계된 최고의 품질, 컴퓨터 제어 포토 esist 장비입니다. 정확성, 반복성 및 처리량 측면에서 탁월한 성능을 제공합니다. 이 시스템은 최대 600um (micrometer) 의 회선 크기로 대규모 LSI (Integrated Circuit) 및 메모리 칩을 처리하도록 설계되었습니다. CALOGIC ST-870은 웨이퍼 프로세싱을위한 완전 자동화 된 플랫폼을 갖추고 있으며, 수백 밀리미터의 X-Y 변환을 포함하여, 여러 축을 중심으로 회전하는 다양한 모션을 갖추고 있습니다. 또한 "와퍼 '위 에" 포토레지스트' 를 부드럽게 조작 하고 적재 할 수 있는 특수 한 "로봇 '암 과" 그리퍼' 도 포함 된다. 로드 (load) 및 프로세스 주기 (process cycle) 는 고객의 구체적인 요구를 충족하기 위해 완전히 자동화되고 완전히 사용자 정의할 수 있습니다. 또한, 고정된 소스나 이동하는 소스로 장치를 설정할 수 있습니다. 이 기계에는 정확하고 반복 가능한 유량을 보장하는 고급 포토 esist 분배 장치가 포함되어 있습니다. 이것은 고급 컨트롤러 (Advanced Controller) 의 도움을 받으며, 매우 정확한 선형 스테퍼 모터 (Steper Motor) 를 사용하여 생산 중 웨이퍼의 균일하게 분산 된 필름 코팅을 보장합니다. 컨트롤러는 또한 연화 화학 물질을 적용하고, 후처리를위한 린싱주기를 허용합니다. SEMITOOL ST-870 (SEMITOOL ST-870) 에는 웨이퍼 양쪽에 photoresist를 동시에 적용 할 수있는 고급 정밀 제조 듀얼 노즐 도구가 장착되어 있습니다. 이 자산은 또한 습기 및 습도 농도에 사전 처리 화학 물질을 적용 할 수 있습니다. 또한, 이 모델은 롤러 헤드 (roller head) 와 관련 회로의 온도를 제어하기 위해 고급 펄스 변조 메커니즘을 특징으로하며, 포토 esist 코팅의 적절한 패턴을 보장한다. 이 장비는 또한 컴퓨터 화 된 PRI 시스템을 갖추고 있으며, 이를 통해 운영자는 전체 프로세스를 프로그래밍 및 제어할 수 있습니다. 이 장치는 완전히 프로그래밍 가능하며 가변 속도 (variable speed), 전체 웨이퍼 저항 (overall wafer resistance), 가변 노즐 크기 (variable nozzle size) 와 같은 여러 옵션과 함수를 호출하는 데 사용할 수 있습니다. 또한, 이 기계는 다양한 유형의 유리 및 세라믹 기판을 패턴화하여 처리 할 수 있습니다. ST-870은 인라인 (in-line) 제조, 웨이퍼 제조, 생산 테스트 및 측정, 소규모 칩의 대규모 프로세싱 등의 고성능 어플리케이션을 위해 설계되었습니다. 완벽하게 자동화된 툴로서, 반복 가능한 정확성과 장기적인 성능을 보장합니다.