판매용 중고 SEMITOOL ACMS-RTA #9267100

SEMITOOL ACMS-RTA는 고급 반도체 장치 생산의 성능을 향상시키기 위해 설계된 포토리스 (photoresist) 장비입니다. CRS (Configuration Rework Station) 및 저항성 열 분석 (RTA) 장치가 있습니다. CRS 를 사용하면 생성 (creation) 등을 통해 패턴 크기 (pattern size) 와 같은 매개변수를 정확하고 빠르게 조정할 수 있습니다. 이 장치는 파인 라인 패턴을 만드는 훌륭한 수단도 제공합니다. ACMS-RTA의 RTA 단위는 SWIR (window-less short-wave infrared) 에미 터를 사용하여 베이킹, 개발, 연화 및 치료와 같은 포토 esist 프로세스를 가열합니다. 이렇게 하면, 제조 공정의 중요한 단계를 줄이는, 얇고 균일 한 저항층 (resist layer) 을 적용할 수 있습니다. 또한 확산 용광로 (diffusion fornace) 의 필요성을 제거하며, 이는 종종 광전사 프로세스에 사용됩니다. SEMITOOL ACMS-RTA는 온도, 가열 속도 및 광 소제의 농도에 대한 뛰어난 제어 기능을 제공합니다. 이렇게 하면 지정된 응용 프로그램의 정확한 사양을 충족할 수 있습니다. 또한, ACMS-RTA에는 특정 응용 프로그램에 맞게 사용자 정의할 수 있는 자동 작업 프로파일이 포함된 직관적인 사용자 인터페이스가 있습니다. 또한 프로세스 제어 등급 (PCR) 을 제공하여 반복 가능하고 예측 가능한 결과를 보장합니다. SEMITOOL ACMS-RTA에는 실시간 경보 및 항복 분석 소프트웨어 인터페이스와 같은 고급 기능도 포함되어 있습니다. 이렇게 하면 시스템에서 프로세스 성능의 변경 (change of process performance) 을 감지하고 경고 (alert) 할 수 있으며, 이로 인해 이상에 대한 신속한 응답이 가능합니다. 이 툴은 또한 결과에 대한 상세한 로깅 및 보고 기능을 제공하며, 이는 프로세스를 추적하고 최적화하는 데 유용합니다. ACMS-RTA는 안정적이고 효율적인 포토레시스트 (photoresist) 자산으로, 고급 반도체 장치 생산에 이상적입니다. 온도와 포토레시스트 농도 (photoresist concentration) 와 같은 매개변수뿐만 아니라 자동화된 작업 프로파일까지 완벽하게 제어하여 빠르고 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 또한, 향상된 수율 분석을 위해 경보 (alarm) 및 로깅 (logging) 기능과 같은 고급 기능을 제공합니다. 이를 통해 SEMITOOL ACMS-RTA가 품질 포토레지스트 레이어를 생산하기 위한 완벽한 선택이됩니다.