판매용 중고 SEMITOOL 9708 #293601757

SEMITOOL 9708 Photoresist Equipment (Photoresist Equipment) 는 반도체 장치 생산에서 탁월한 성능을 제공하도록 설계된 안정적이고 고급 시스템입니다. 포토리스토그래피 (photolithography) 공정의 최신 기술 발전을 통해 패턴을 웨이퍼로 옮길 수 있습니다. 9708 은 통합 구성 요소를 활용하여 저항 (resist) 애플리케이션 프로세스를 간소화하고, 각 주기의 시간을 단축하며, 뛰어난 반복성을 보장합니다. 이 장치는 두 개의 별개의 구성 요소 (프리클린 모듈, 레지스트 애플리케이션 모듈) 로 구성된 모듈식 유닛입니다. 프리 클린 모듈은 저항 응용 프로그램 (resist application) 전에 웨이퍼 표면을 조건화하는 데 사용됩니다. 이 "모듈 '은 공기 와 질소 로 작동 하여" 와퍼' 표면 을 제거 한다. 그런 다음 저항 모듈은 가압 챔버의 포토 esist를 정확하게 적용합니다. 이 장치에는 와퍼에 정확하고 균일 한 저항층을 적용할 수있는 스핀 트랙 드라이브 머신 (spin track drive machine) 도 포함되어 있습니다. 이 장치의 고급 광학 설계 (Advanced Optical Design) 는 장치 패턴화를 위해 최고 해상도를 달성합니다. 그것 은 여러 "렌즈 '와 고급 광학" 렌즈' 를 사용 하여 "디자인 '의" 이미지' 를 캡처 하고 불규칙 을 조정 한다. 또한 균일하고 정확한 노출을 제공하는 독특한 직접 조명 기능도 포함되어 있습니다. 자동 분배 제어 기능은 정확한 저항 측정을 보장하며, 폐기물과 실수를 방지합니다. 이 장치에는 또한 고급 기판 온도 컨트롤러 (Advanced Substrate Temperature Controller) 가 포함되어 있어 저항 응용 프로그램 프로세스 동안 최적의 웨이퍼 온도가 유지됩니다. 또한, 이 단위는 복합 프로세스의 일부로 사용되어 복잡한 장치 패턴 (complex device patterning) 을 달성하기 위해 여러 층의 photoresist를 회전시킬 수도 있습니다. SEMITOOL 9708 Photoresist Tool은 고품질 반도체 장치 생산에 효과적이고 안정적인 도구입니다. 고급 (advanced) 기능을 사용하면 장치의 정확한 설계를 웨이퍼로 빠르고 정확하게 전송할 수 있습니다. 이 장치를 사용하면 고해상도 이미지와 정확한 장치 패턴화를 일관되게 수행할 수 있습니다.