판매용 중고 SEMITOOL 906-00329 #9160090
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ID: 9160090
Controller PSC-102 for SEMITOOL SRD.
Controllers are programmable
Displays resistivity and spin speed.
'SEMITOOL 906-00329' 는 집적 회로 제조에 사용되는 포토 esist 장비입니다. 전기적, 기계적 특성에 영향을 미치지 않고 기판에 정밀 패턴을 형성 할 수있는 포토 esist 시스템 (photoresist system) 의 한 유형입니다. Photoresist 시스템은 Silicon 웨이퍼에 전기 구성 요소를 만드는 데 사용됩니다. 906-00329 는 고품질, 고해상도의 실리콘 웨이퍼 (Silicon wafer) 에 원하는 구조를 만들 수 있습니다. 최대 15 µm의 고해상도를 처리 할 수 있습니다. 또한 -10 C ~ 45 C의 넓은 작동 범위를 가지고 있습니다. 또한, 직경 200mm ~ 직경 300mm ~ 더 큰 기판에 적합한 기판을 처리 할 수 있습니다. SEMITOOL 906-00329 는 설치 및 유지 보수가 용이하여 사용자 및 업계에 적합합니다. 기판 로드 및 언로드를 돕기 위해 내장 된 웨이퍼 로딩 마이크로미터 가이드가 있습니다. 또한 모든 범위의 앞뒤로 움직이는 조정 가능한 척이 특징입니다. 또한, 이 장치에는 자동 공정 가스 스위칭 기능이 장착되어 있어 유연성이 뛰어납니다. 906-00329는 자외선 (UV) 빛과 전자 빔 리소그래피 (EBL) 의 조합을 포토 esist 기계에 사용합니다. 멀티 패스 (Multi-Pass) 노출 및 개발 프로세스, 성능 최적화, 세부 해결 능력 등을 제공합니다. 또한, 이 도구는 내장 된 웨이퍼 온도 컨트롤러 (wafer temperon controller) 를 갖추고 있으며, 이 컨트롤러는 웨이퍼 표면에서 균일하고 제어된 온도를 유지하는 데 도움이됩니다. 전반적으로, SEMITOOL 906-00329는 기판에서 정밀 패턴을 형성하기위한 매우 효과적이고 신뢰할 수있는 photoresist 자산입니다. 그것은 광범위한 작동 범위를 가지고 있으며, 최대 15 발의 고해상도를 처리 할 수 있습니다. 또한 자동 공정 가스 스위칭, 열 분배를위한 온도 컨트롤러, 웨이퍼 로딩 마이크로미터 가이드 (wafer loading micrometer guide) 와 같은 고급 기능을 자랑하여 원활한 작동과 안정적인 결과를 보장합니다.
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