판매용 중고 SEMITOOL 906-00119 #9160086

SEMITOOL 906-00119는 포토 마스크 및 기타 리소그래픽 재료의 처리를 위해 설계된 photoresist 시스템입니다. 고품질 포토마스크 (photomask) 와 가공소재를 제공하기 위해 다양한 사진-광학 전송, 화학 처리, 관련 사전처리 (pre-and post-processing) 기능을 사용하는 완전 자동화된 장비다. 코어에서 906-00119는 photomask 또는 wafer 제작을 위해 자동 선형 스캐너를 사용합니다. 스캐너는 선형 단계를 따라 포토 마스크 (photomask) 나 가공소재를 이동하여 고강도 UV 광원에 노출 할 수 있습니다. 이 과정은 photomask 또는 wafer에 photoresist 레이어를 노출시키는 데 사용됩니다. 그런 다음, 노출 된 광전자가 습식 화학 공정으로 개발되어 원하는 포토 마스크 (photomask) 또는 웨이퍼 패턴 (wafer pattern) 을 형성한다. 선형 단계 외에도, SEMITOOL 906-00119 포토 esist 시스템에는 노출 전에 웨이퍼를 준비해야하는 상황에서 개발 및 리플로우를위한 사전 처리 챔버 (pre-processing chamber) 도 포함되어 있습니다. 전처리 챔버 (pre-processing chamber) 는 또한 웨이퍼 표면에서 포토 esist의 효과적인 에칭을 위해 정밀 압력 수준에 대해 프로그래밍 된 고압 공기 제트 펄스 (air jet puls) 와 0.2 미크론 펄스를 사용합니다. 노출, 개발 및 에칭 프로세스가 완료된 후, 포스트 프로세싱은 906-00119 장치에서 수행됩니다. 여기에는 포토 마스크 또는 웨이퍼 청소, 굽기, 치료, 먼지 제거, 보호 코팅 적용이 포함됩니다. 이러한 포스트 프로세싱 (post-processing) 단계는 노출 된 포토 esist 레이어에 최소 양의 잔기가 남도록 합니다. 결론적으로, SEMITOOL 906-00119는 고품질 포토 마스크 (photomask) 와 가공소재 (workpieces) 를 만들어 광범위한 응용 프로그램을 만들 수 있도록 고급적이고 독특한 포토 esist 처리 기계입니다. 자동화된 선형 스캐너 (linear scanner), 전처리 챔버 (pre-processing chamber) 및 후처리 (post-processing) 기능은 포토마스크 및 기타 석판 재료의 처리를 위한 효율적이고 안정적인 솔루션을 제공합니다.