판매용 중고 SEMITOOL 880S #9774

SEMITOOL 880S Photoresist Equipment (Photoresist Equipment) 는 패턴 및 평면 조건에서 photoresist를 코팅, 노출 및 제거하도록 설계된 업계에서 가장 높은 정밀도 및 정확도를 제공합니다. 최대 8 개의 카세트 로드를 지원할 수있는 완전 자동화 된 이중 열 시스템입니다. SEMITOOL 880 S는 화학 저장 탱크와 웨이퍼 재 포장 시스템을 모두 제공하여 프로세스 반복 성과 유닛 신뢰성을 증가시킵니다. 880-S Photoresist 기계는 고온, 고압 열 코팅 스테이션, 저항 콘셉터 및 환경 제어 워크 스테이션으로 구성됩니다. 열 코팅 스테이션 (thermal coating station) 은 독특한 가스 혼합 기술을 사용하여 단일 레이어 또는 다중 계층 재료의 넓은 영역에 포토 esist를 균일하게 적용합니다. 저항제 (resist receptacle) 는 포토 esist의 정확한 배치 및 보존을 가능하게하며 포토 esist를 웨이퍼에 정확하게 투여 할 수있는 고정밀 자동 측정을 제공합니다. 환경실 (Environmental Chamber) 은 공정에 균일성과 안정성을 더하고 완벽한 환경 통제를위한 강력한 에어컨 (air conditioning) 도구를 갖추고 있습니다. 또한 880 S에는 포토 esist의 빠르고 정확한 노출이 가능한 최첨단 이미징 소프트웨어가 포함되어 있습니다. 이 소프트웨어를 사용하면 마스크 (Mask) 를 목표에 맞게 정렬하고 노출 조건 (Exposure Condition) 및 매개변수 (Parameter) 를 선택할 수 있는 노출 프로세스를 최적화하여 제어할 수 있습니다. 이 자산은 또한 견고하고 안정적인 포스트 베이크, 스트립 및 개발자 모듈을 특징으로하며, 포토리스 연주자의 정확하고 일관된 처리를 제공합니다. 이러한 880 년대 기능은 탁월한 정확성과 반복성을 제공하며, 또한 폐기물과 사이클 시간을 줄입니다. 이 모델은 R&D 및 대용량 생산 시설의 사진 촬영 응용 프로그램에 이상적입니다. 그것 은 화학적 저항성 이 높은, 넓은 온도 범위 에 걸친 대규모 저항력 을 처리 할 수 있으므로, 훌륭 한 공정 결과 를 얻을 수 있다.