판매용 중고 SEMITOOL 880S #9170477

SEMITOOL 880S는 반도체 장치 제조에 사용하도록 설계된 포토리스 (photoresist) 장비입니다. 그것 은 "실리콘 웨이퍼 '와 같은 기질 에" 포토레지스트' 의 균일 한 층 을 증착 시키는 데 사용 되는데, 그것 은 자외선 에 노출 된다. 그 다음 에 광저항 층 을 "솔벤트 '속 에 씻어 내어," 에칭' 또는 증착 과정 중 에 기본 기질 의 특정 영역 을 다르게 처리 할 수 있도록 "마스크 '로 사용 될" 에치' 된 패턴 '을 남긴다. 세미 툴 880 S (SEMITOOL 880 S) 는 포토 esist 응용프로그램 및 패턴 프로세스를위한 자동화된 컴퓨터 제어 프로세스, 그리고 압력 구호 밸브 (pressure relief valv) 및 기타 보호 장치 (safeguard) 와 같은 근로자 안전을 보장하는 많은 안전 기능을 갖추고 있습니다. 이 시스템은 저항층의 두께와 균일성을 측정하는 레지스트 모니터 (Resist Monitor) 와 증착 (Deposition) 및 패턴 (Patterning) 전에 기판을 미리 가열하기위한 핫플레이트 (Hotplate) 도 포함합니다. 880-S에는 기판을 쉽게 장착 할 수있는 빠른 릴리즈 로딩 척 (quick-release loading chuck) 과 기판 크기에 관계없이 균일 한 압력을 가하여 전체 기판에 균일 한 저항층 두께를 보장하는 웨이퍼 스트레처 (Wafer Stretcher) 가 있습니다. 따라서 고정밀 장치 제조에 적합합니다. 광전자 (photoresist) 적용 및 패턴화는 다양한 광전사 재료에 적합한 통합 펄스 레이저 빔 (pulsed laser beam) 장치에 의해 가능하다. "머신 '은 내성" 레이어' 의 두께 를 변화 시키도록 사용자 "인터페이스 '를 통하여 제어 할 수 있으며," UV 레이저' 펄스 는 선택적 으로 처리 할 필요 가 있는 기판 의 특정 부면 을 노출 시키도록 조정 할 수 있다. 또한 880 년대 에는 "린스 '와" 스핀' 건조 수술 을 위한 여러 부수적 인 청소 기능 이 포함 되어 있는데, 이것 은 포토레지스트 '과정 전후 의 기질 을 청소 하는 데 도움 이 된다. 이것 은 생산 된 반도체 장치 가 먼지, 오염, 기타 불완전성 이 없도록 하는 데 도움 이 된다. 요약하자면, SEMITOOL 880-S는 고정밀 반도체 장치 생산을 위해 설계된 매우 신뢰할 수있는 포토 esist 도구입니다. 자동, 컴퓨터 제어 프로세스, 통합 레이저 시스템 및 보조 청소 기능이 있습니다. 880 S (photoresist process) 를 보다 쉽고 효율적으로 만드는 한편, 작업자 안전과 깨끗하고 결함이 없는 장치 생산을 보장합니다.