판매용 중고 SEMITOOL 880S #9170474

SEMITOOL 880S는 습식 공정 응용 프로그램을 위해 설계된 완전 자동화 된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 코팅, 빵 굽기, 개발을 포함한 여러 가지 포토 esist 작업을 위해 설계되었습니다. 두 개의 독립적 인 프로세스 모듈 (습식 프로세스 모듈 및 SRD (spin-rinse-dry) 모듈) 로 구성됩니다. 습식 공정 모듈에는 자동 화학 전달 장치, 가열 재순환 기계, 수동 스피너, 스핀 린스 (spin-rinse) 및 포스트 린스 (post-rinse) 용 솔루션이 장착되어 있습니다. SRD 모듈은 스핀, 린스, 건조 및 부품 용매 처리 옵션을 허용합니다. 습식 공정 모듈은 정확한 화학 전달 및 완전한 공정 안전을 제공합니다. 자동화 된 화학 전달 도구는 프로세스 제어를 강화하기 위해 최대 4 개의 화학 물질을 정확하게 측정합니다. 가열 된 재순환 자산은 화학 물질을 더 빠르게 돌릴 수 있습니다. 손으로 회전 할 수있는 수동 스피너 (Manual Spinner) 는 편리한 부품 배치를 제공합니다. 스핀 린스 및 포스트 린스 솔루션은 적절한 클리닝 및 포스트 프로세스 보호를 보장합니다. SRD 모듈에는 진동 스피너, 정밀 청소를위한 조절 가능한 스프레이 노즐, 건조를위한 대용량 드레인 트레이 (Drain Tray) 가 장착되어 있습니다. 스핀 건조 기능은 철저한 청소를 보장하고 프로세스 시간을 줄입니다. 이 모듈은 또한 수분 민감성 부품을 처리하기위한 용매 처리 옵션 (solvent treatment option) 을 특징으로합니다. SEMITOOL 880 S는 photoresist 프로세스에 효율적이고 신뢰할 수있는 모델입니다. 사용자 친화적이며 간단한 시작 및 종료 절차가 특징입니다. 사용자에게 친숙한 HMI 인터페이스는 프로세스 레시피 관리, 알람 로깅 및 문제 해결 기능 지원을 제공합니다. 안전 기능에는 밀봉 된 포토 esist 컨테이너, 장비 경보 및 종료, 폭발 방지 구조가 포함됩니다. 이 시스템은 효율적인 포토레지스트 유닛을 찾는 사람에게 적합한 선택입니다.