판매용 중고 SEMITOOL 880S #9163494

세미툴 880 년대 (SEMITOOL 880S) 는 다양한 응용프로그램에 견고하고 신뢰할 수 있는 사진 촬영 처리를 제공하도록 설계된 포토리스 (photoresist) 장비입니다. 이 시스템은 기판 및/또는 장치에서 박막 증착을 위해 단면 (single-side) 프로세스와 양면 (double-sided) 프로세스를 모두 수행 할 수 있습니다. 이 장치는 프리 베이크와 노출의 두 가지 섹션으로 구성됩니다. 기계의 프리 베이크 섹션은 SEMITOOL 880 S 핫 플레이트 유닛 (SEMITOOL 880 S Hot Plate Unit) 으로 구성되며, 포토 esist를 적용하기 전에 웨이퍼를 사전 구동하기위한 다양한 온도 설정을 제공합니다. 또한, 이 도구는 여러 팬 설정으로 설계되어, 사용자가 균일 한 웨이퍼 온도 프로파일을 위해 사전 베이크 챔버 (pre-bake chamber) 의 대류 힘을 조정할 수 있습니다. 프리 베이크 (pre-bake) 프로세스는 웨이퍼에 대한 에지 효과를 줄이는 데 도움이되는 진공 기반 냉각 팬에 의해 추가로 지원됩니다. 노출 섹션은 150W DUV (깊은 자외선) 램프가 장착 된 880-S 노출 장치로 구성됩니다. 이 자산은 웨이퍼에 photoresist 레이어를 노출시키는 데 사용됩니다. 이 프로세스는 단면 모드와 양면 모드 모두에서 구성할 수 있습니다. 단면 노출의 경우, 모델은 최대 8 인치 직경과 최대 20mm 두께의 기판을 처리 할 수 있습니다. 양면 처리의 경우, 장비는 최대 4 인치 직경, 최대 10 mm 두께의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 이 시스템의 전체 성능은 장치 (Design) 에 통합된 다양한 안전 시스템 (Safety System) 에 의해 더욱 향상되었습니다. 여기에는 유전체 및 금속 마스크를위한 자동 종료 기능과 장애 안전 (failsafe) 연동 장치가 포함됩니다. 이를 통해 880 S 포토레스 (photoresist) 기계가 안전한 매개변수 내에서 작동하고 사용자에게 장비 손상 및 잠재적 피해를 방지합니다. 결론적으로, 880S는 단면 (single-side) 프로세스와 양면 (double-sided) 프로세스 모두에 대해 정확하고 고품질의 결과를 제공하도록 설계된 고급 사진 분석 도구입니다. 광범위한 기능과 안전 시스템 (Safety System) 을 통해, 이 자산은 모든 photolithography 애플리케이션을 위한 안정적이고 효율적인 선택입니다.