판매용 중고 SEMITOOL 880S #38555

SEMITOOL 880S (SEMITOOL 880S) 는 반도체 웨이퍼 처리 및 마스크 없는 리소그래피를 위해 설계된 포토리스트 및 박막 증착 시스템입니다. 고효율 저항제 디스펜서와 마스크 정렬기, 고성능 박막 증발 소스, 쿼츠 크리스탈 마이크로밸런스 (QCM), 통합 가스 관리 (gas management) 를 사용하기 쉬운 소형 플랫폼으로 결합했습니다. SEMITOOL 880 S는 880 시리즈의 라인 모델 중 최상위이며, 반도체 및 옵토 전자 산업에서 사용하기에 적합합니다. 880-S는 평면과 복잡한 표면에 정확성과 반복성을 가진 포토리스트 (photoresist) 를 분배, 정렬 및 적용 할 수 있습니다. 고효율적이고 견고한 디스펜싱 기술 (Dispensing Technology) 을 통해 안정적인 디스펜스 패턴 (Dispense Pattern) 을 제공합니다. 880 S는 기판 영역에 쉽게 도달 할 수 있습니다. 2 단계 마스크 정렬기를 사용하면 레지스트 패턴을 기판 서피스에 정확하게 정렬할 수 있습니다. 박막 증착은 압력, 온도, 증착율, 가스 순도 (gas purity) 와 같은 글로벌 프로그래밍 가능한 매개변수에 의해 제어되는 고급 증발 소스에 의해 활성화됩니다. 소스는 열 질량이 낮아 균일 성 (unifority), 균일 한 두께 (uniform thickness) 및 개선 된 필름 특성을 제공하는 박막 (thin film) 을 효율적으로 전달 할 수 있습니다. 또한 통합 쿼츠-크리스탈 마이크로 밸런스 (QCM) 는 증착율을 실시간으로 제어합니다. SEMITOOL 880-S는 사전 설정된 가스 및 산소 혼합물을 빠르게 순환시켜 제조 공정을 최적화 할 수있는 고급 가스 관리 시스템 (advanced gas management system) 을 통합합니다. 이 장치는 조용히 작동하여 오염을 줄이고 프로세스 안정성을 향상시킵니다. 880S는 또한 구성 능력이 뛰어나며, 통합된 처리를 위해 기존 처리 툴에 장착할 수 있습니다. 전반적으로 SEMITOOL 880S는 매우 효율적이고, 안정적이며, 비용 효율적인 포토리스 및 박막 증착 시스템입니다. 반도체, 옵토 전자 및 연구 산업에서 사용하기에 적합합니다.