판매용 중고 SEMITOOL 880S #293683353

SEMITOOL 880S (SEMITOOL 880S) 는 최신 전자 및 가스 냉각 난방 구성 요소 및 소프트웨어를 사용하여 설계된 프로그래밍 가능한 포토레지스트 장비입니다. 그 장점에는 작동 챔버에 걸친 뛰어난 열 균일성 (excellent thermal unifority) 과 온도, 유속, 저항 회전 속도 등 타이밍 매개변수의 정확한 제어 (control of timing parameters) 가 포함됩니다. 핵심에서 SEMITOOL 880 S는 PDS (Photoresist Delivery System) 와 GHR (Gas-Cooled Heating Reactor) 의 두 가지 구성 요소로 구성됩니다. PDS는 진공 펌프 (vacuum pump) 를 사용하여 저항을 스테인리스 스틸 (stainless-steel) 디스크로 끌어내립니다. 여기서 디스크는 제어 속도로 디스크 전체에 균일하게 배포됩니다. 이것은 photoresist 레이어의 최고 품질의 범위와 균일성을 보장합니다. 그런 다음 GHR (GHR) 을 사용하여 회전 저항을 가열하여 온도, 유지 시간 등 열적 매개 변수의 정확하고 정확한 제어를 가능하게합니다. 880-S는 다양한 처리 응용 프로그램을 제공하며, PECVD, PVD 및 HD 프로세스와 같은 고온 및 점도 유형 (예: 사진 촬영 및 화학 에칭) 과 같은 저온 및 저점도 처리에 사용될 수 있습니다. 이 장치의 효율적인 열 전달 기능과 최대 1800 ° C (최대 1800 ° C) 의 대규모 온도 범위를 통해 다양한 생산 등급 처리 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 또한, IPCS (Intelligent Process Control Machine) 를 사용하면 운영 프로세스의 각 단계를 정확하고 안정적으로 제어 할 수 있습니다. IPCS는 처리량을 최적화하고 특수 레시피에 대한 사용자 정의 프로파일 생성을 지원합니다. 또한, 사용자는 Windows 기반 GUI를 통해 매개변수, 레시피, 프로세스 데이터 등의 기능에 액세스할 수 있으며, 소프트웨어에 언어별 프로세스 지침을 작성할 수 있습니다. 첨단 기능과 다용도 디자인의 결과로, 880S (880S) 는 다양한 생산 작업을위한 귀중한 솔루션으로, 정확하고 신뢰할 수있는 포토리스 (photoresist) 구성 요소를 만드는 데 사용될 수 있습니다.