판매용 중고 SEMITOOL 880F #84730
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SEMITOOL 880F는 반도체 제조에 사용하도록 설계된 포토 esist 장비입니다. 고급형 습식 벤치 (bench system) 로, 표준 포토레시스트와 고급 포토레시스트를 모두 보다 정확하고 균일하게 처리할 수 있습니다. 이 장치는 최대 880 평방 인치의 웨이퍼 표면을 수용 할 수있는 정밀 공정 챔버 (precision process chamber) 와 결합 된 고해상도 이미징 머신을 갖추고 있습니다. 이 조합은 보다 정확하고 반복 가능한 결과와 함께 높은 수준의 균일성을 달성 할 수있는 기능을 제공합니다. 이 도구에는 최첨단 디지털 제어 (digital control) 자산이 장착되어 있어 프로세스 매개변수를 정확하게 모니터링할 수 있습니다. 이 제어 모델에는 다양한 센서가 포함되어 있으며 통합 소프트웨어 기반 피드백 (feedback) 장비가 장착되어 있으며, 후자는 다양한 포토리스 (photoresist) 응용 프로그램 프로세스에 대해 정확하고 안정적인 제어를 제공합니다. 880F는 정밀한 등록과 솔루션 간 포토레스 (photoresist) 솔루션의 정확한 교환을 제공하는 4 점 정렬 시스템이 표준으로 제공됩니다. 이 장치는 대부분의 표준 photoresist 솔루션을 지원하며 장기적인 사용을 위해 설계되었습니다. 또한 이 기계는 온도, 압력, 코팅 모듈 등 프로세스 최적화를 정확하게 수행할 수 있는 많은 액세서리 (옵션) 를 지원합니다. SEMITOOL 880F는 또한 Class 100 클린 룸 호환 격리 및 배기 도구를 갖추고 있습니다. 이 기능은 공기 미립자가 포토 esist 프로세스에서 안전하게 제거되도록 보장합니다. 또한, 청소실 호환 자산은 공기 침해 감소로 인한 공정 수율을 증가시킵니다. 장기 운영을 보장하고 운영자 안전을 극대화하기 위해 880F에는 안전 기능도 포함되어 있습니다. 여러 통합 안전 연동이 모델에서 표준으로 통합되었습니다. 또한, 포토리스트 (photoresist) 가 위험한 조건에 노출되지 않도록 보호하는 다양한 조정 가능한 프로세스 경보를 옵션으로 사용할 수 있습니다. 마지막으로, 이 장비에는 레시피 설정 및 데이터 수집을 단순화하는 사용자 친화적 인 프로세서도 포함되어 있습니다. 이 프로세서를 사용하면 호스트 컴퓨터의 원격 액세스와 더불어 레시피 (recipe) 를 손쉽게 업로드, 다운로드할 수 있습니다. 그래픽 사용자 인터페이스 (옵션) 도 사용할 수 있으며 예상치 못한 결과에 대한 잠재적 원인을 강조합니다. 전반적으로 SEMITOOL 880F는 강력한 프로세스 결과를 제공 할 수있는 강력한 포토 esist 시스템입니다. 가장 높은 해상도, 가장 정확한 결과, 모두 안전 장치 (Safety Features) 를 제공합니다. 또한 이 시스템에는 여러 가지 액세서리 (옵션) 와 다양한 사용자 친화적 툴이 포함되어 있어 생산성을 극대화할 수 있습니다.
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