판매용 중고 SEMITOOL 880F #2366

SEMITOOL 880F Photoresist Equipment는 매우 짧은 턴어라운드 시간으로 웨이퍼를 효율적으로 처리하도록 설계된 고급 반도체 제조 플랫폼입니다. 이 시스템은 화학 증기 증착 공정을 사용하여 정렬, 파인 라인 패턴화, 두꺼운 필름 증착, 박막 코팅 (thin-film coating) 과 같은 포토 esist 응용 프로그램에 최고 품질의 성능을 제공합니다. 880F 는 사용이 간편한 인터페이스로, 운영자가 여러 기능을 손쉽게 프로그래밍하고 관리할 수 있게 해 줍니다. 프로세스 제어 소프트웨어 (Process Control Software) 는 자동화된 프로덕션 시퀀스를 위해 특별히 설계되었으며, 사용자가 가장 까다로운 어플리케이션을 위한 최고의 정확성과 반복성을 제공합니다. Honeywell Process Solutions는 프로세스 정확성을 높이고 제어하기 위해 포함되어 있습니다. SEMITOOL 880F에는 150mm 또는 200mm 웨이퍼가 사전 장착 된 최대 6 개의 상자를 수용 할 수있는 대형 로드 잠금 챔버가 장착되어 있습니다. 사전 로드 (preloading) 기능을 사용하면 배치 실행을 예상하여 여러 상자를 로드하여 비생산적 (non-productive) 시간을 줄일 수 있습니다. 로드 잠금 (load-lock) 에는 챔버 대기 및 온도를 정확하게 제어하는 엔드 포인트 사양 기능이 있습니다. 또한 880F는 특수 공압 보조 플레이트 장착 버블러 장치 (pneumatically-assisted plate mounted bubbler unit) 를 사용하여 열 정확도를 높입니다. 또한, SEMITOOL 880F는 정밀 간격 제어 셔터와 함께 제공되어 포토 esist 스트리핑 공정의 정확한 타이밍을 허용합니다. 또한, 여러 프로세스 탱크에 대해 880F를 구성할 수 있으므로 여러 photoresist를 동시에 처리할 수 있습니다. 이 기능은 처리 시간을 줄이고 프로세스 유연성을 제공합니다. 전반적으로, SEMITOOL 880F는 강력하고 효율적인 포토 esist 머신으로, 반도체 제조업체가 웨이퍼를 빠르고 효율적으로 처리할 수 있도록 도와줍니다. 자동 시퀀스, 향상된 정확도, 제어 기능, 향상된 열 정확도 등의 기능을 갖춘 880F는 사용자에게 포토레지스트 (photoresist) 응용 프로그램에서 최상의 성능을 제공합니다.