판매용 중고 SEMITOOL 870S #9397638

SEMITOOL 870S
제조사
SEMITOOL
모델
870S
ID: 9397638
Spin Rinse Dryers (SRD) Double stack.
SEMITOOL 870S는 전자 기기의 처리 및 제조에 사용되는 포토리스 (photoresist) 장비입니다. 이것 은 "마스크 '" 타이너' 로서 평판 있는 기판 층 에 "패턴 '을 만드는 데 사용 되는 기구 이다. 광저항제는 빛의 광선 (beam of light) 이 통과하는 곳에서 반응하여 특정 영역의 패턴을 만들 수있는 빛에 민감한 물질입니다. SEMITOOL 870 S는 기판 재료, 노출 소스 및 스테퍼를 적재 및 언로드하기위한 자동 테이블로 구성됩니다. 노출 소스는 고정 투명 표면 (fixed transparent surface) 과 석영 조명기 (quartz illuminator) 를 특징으로하며, 이를 통해 photoexposore를 사용하여 원하는 패턴을 저항 레이어에 노출시킬 수 있습니다. 스테퍼를 사용하면 x 방향과 y 방향 모두에서 기판 테이블의 노출 소스 (exposure source) 및 동작을 정확하게 배치할 수 있습니다. 870S 시스템에는 특정 패턴 정의를 허용하는 소프트웨어가 장착되어 있습니다. 노출 소스로 패턴이 생성되므로, 정확한 위치가 필요합니다. 이것은 X, Y 및 Z 방향으로 노출 소스의 이동, 피치, 롤 및 요를 공급하는 6 축 (6 축) 컨트롤과 함께 장치의 자동 피쳐에 의해 달성 될 수 있습니다. 870 S에는 또한 고속 금속 청소 (High Rate Metal Cleaning) 기능이 포함되어 기판의 저항 제거 및 금속 입자 에칭이 가능합니다. 이것은 고출력 펄스 레이저 (pulsed laser) 를 사용하여 높은 속도로 수행됩니다. 이 강력한 레이저는 빠르고 정확한 저항 노출을 제공하여 SEMITOOL 870S 기계를 고급 응용 프로그램에 적합합니다. 전반적으로 SEMITOOL 870 S는 전자장치의 정확한 패턴을 제공하도록 설계된 효율적인 포토리스 (photoresist) 도구입니다. 자동화된 로드 및 언로드 기능, 정확한 위치 지정, 소프트웨어 정의 패턴, 높은 속도 (high rate metal) 클리닝, 고출력 레이저 (high-power laser) 를 통해 노출됩니다. 따라서 870S는 전자 기기 제조 및 처리에 유용한 도구입니다.
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