판매용 중고 SEMITOOL 870S #9265754
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SEMITOOL 870S (SEMITOOL 87S) 는 고급 반도체 장치 제조 프로세스에 우수한 결과를 제공하기 위해 특별히 설계된 완전 자동화 된 포토레시스트 장비입니다. 그것 은 "웨이퍼 '에 광전사 의 신속 하고 정확 한 증착 을 가능 케 하는 고급" 시스템' 이다. SEMITOOL 870 S는 균일 한 포토 esist 증착을위한 딥 코트 (dip coat) 공정을 사용하여 높은 수준의 감도와 정확성을 제공합니다. 조정 가능한 온도 조절 공정 챔버 (adjustable, tempering-controlled process chamber) 를 통해 균일 한 온도 프로파일을 유지하고 일관된 균일 코팅 레이어를 제공합니다. 자동 장치는 빠른 처리량, 높은 생산성 및 유연성으로 최대 450mm 웨이퍼를 기판으로 만들 수 있습니다. 운영자 제어 스테이션 (Operator Control Station) 은 사용하기 쉽고, 프로세스의 모든 측면에 대한 자세한 정보를 사용자에게 제공합니다. 또한, 짧은 시간에 균일 한 베이킹을위한 베이크 머신을 갖추고 있습니다. 870S는 여과 기술을 통합 한 Class 1000 클린 룸 (Cleanroom) 으로 설계되어 클린 룸 표준을 보장하고 환경을 유해한 매력, 증기, 오염 물질이 없도록 유지합니다. 업계 최고의 구성 요소와 더불어 고급 설계 (Advanced Design) 를 통해 가장 중요한 애플리케이션에 적합하며 탁월한 수익률, 최고 수준의 성능을 제공합니다. 이 툴은 다양한 업계 표준 구성요소와 내장된 진단 (Diagnostics) 기능을 통해 유지 관리 및 운영이 간편합니다. 또한 자재 처리 자동화 (material handling automation) 를 지원하는 업계 최고의 프로그램을 통해 운영자가 기판 로딩, 언로드, 처리를 보다 쉽게 제어 및 모니터링할 수 있습니다. 870 S는 반도체 제조 산업에 적합하며, 안정적인 운영, 고효율, 견고한 설계를 갖추고 있습니다. 이는 최종 제품이 최고의 품질과 신뢰성을 보장하는 '신뢰할 수 있는' 자산입니다.
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