판매용 중고 SEMITOOL 870S #293830204

SEMITOOL 870S Photoresist Equipment는 저항의 자동 처리를 위해 고급적이고 비용 효율적인 플랫폼입니다. 모듈 식 아키텍처를 사용하여 SEMITOOL 870 S 시스템은 최대 8 개의 300mm 웨이퍼 및 다중 화학 물질을 처리 할 수 있으며 스핀 온 코팅, 건조, 소프트 베이크, 접촉, 노출 및 개발 기능과 같은 프로세스 옵션을 제공합니다. 이를 통해 2 개 이상의 화학 물질 또는 공정을 동시에 코팅하여 처리량을 높이고 낭비를 최소화합니다. 870S 장치는 다른 응용 프로그램 및 기술에 대한 프로세스 레시피를 구성 할 수 있습니다. 각 프로세스 단계에서 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 와 데이터 획득 (Data Acquisition) 기능을 통해 모든 시스템 구성요소와 경보를 간편하게 모니터링하고 문제를 해결할 수 있습니다. 870 S 도구는 다양한 액세서리 (accessory) 에 의해 지원되며, 사진 해설법 프로세스에 유연하고 다양한 처리를 가능하게합니다. 여기에는 로드 잠금 장치, 4 병, 6 병 및 8 병 스위트 및 이미징 및 검사 조명 시스템이 포함됩니다. 이 모듈식 설계를 통해 사용자는 개별 요구 사항에 따라 기능/프로세스를 확장하거나 줄일 수 있습니다. 이 자산은 가공 시간을 줄이고 오염 위험을 최소화하는 한편, 코터 디스펜스 (coater dispense) 가 감소되고 웨이퍼 로딩 (wafer to wafer loading) 이 향상된 뛰어난 프로세스 균일성을 제공하도록 설계되었습니다. 실제 디스펜스 (dispense) 및 스핀온 (spin-on) 속도는 직관적인 프로세스 프로그램 명령 및 전용 디스펜스 소프트웨어 옵션을 사용하여 조정할 수 있습니다. 또한 SEMITOOL 870S는 기계적 설계, 정확한 스핀 속도 제어 및 액체 공정 매개변수의 뛰어난 반복성으로 인해 저항 필름의 우수한 평면 화 (planarization) 를 제공합니다. SEMITOOL 870 S 모델의 고정밀 다이 부착 기술 (high-precision die attach technology) 은 기판 운송 장비에 정확한 웨이퍼 로딩 및 인덱싱을 가능하게하여 웨이퍼 상의 부품을 정확하게 배치합니다. 결론적으로, 870S Photoresist System은 다양한 photolithography 응용 분야에 이상적인 선택입니다. 견고하고, 안정적이며, 모듈식 아키텍처를 갖춘 870 S는 포괄적인 프로세스 기능, 유연성, 비용 효율적인 처리 기능을 제공합니다.