판매용 중고 SEMITOOL 870S-L #293771688

SEMITOOL 870S-L
ID: 293771688
빈티지: 2012
Spin Rinse Dryers (SRD) 2012 vintage.
'SEMITOOL 870S-L' 은 반도체 산업을 위해 설계된 고도의 포토 esist 처리 장비입니다. 이 "시스템 '은 반도체 장치 의 제작 과정 에서 중요 한 요소 로서, 반도체" 웨이퍼' 에 복잡 한 회로 "패턴 '을 만드는 데 필수적 인" 패턴' 및 식각 과정 에 중요 한 역할 을 한다. 870S-L은 정밀도, 안정성, 효율성으로 유명하며, 반도체 제조업체에게는 생산 공정에서 고품질 (high-quality) 결과를 얻으려는 최고의 선택입니다. SEMITOOL 870S-L에는 반도체 웨이퍼 (wafer) 에 포토 esist 물질을 정확하게 적용하고 개발할 수있는 최첨단 기술이 장착되어 있습니다. 광전자 (Photoresist) 는 광도 민감성 물질로, 광전도 과정에서 회로 패턴을 반도체 기질로 전달하는 데 사용됩니다. 870S-L은 고급 자동화, 화학 처리, 정교한 소프트웨어 제어 (software control) 의 조합을 사용하여 웨이퍼에 포토 esist의 균일하고 정확한 증착을 보장합니다. "포토레지스트 '의 이러 한 정확 한 적용 은 원하는 회로" 패턴' 을 달성 하고 반도체 장치 의 전반적 인 질 과 기능 을 보장 하는 데 중요 하다. 세미 톨 870S-L (SEMITOOL 870S-L) 의 주요 특징 중 하나는 높은 자동화 수준이며, 이는 인간 개입을 최소화하고 포토 esist 처리 단계 동안 오류의 위험을 줄입니다. 이 장치에는 반도체 웨이퍼 (wafer) 를 극심한 관리 및 정확도로 처리 할 수있는 정밀한 로봇 핸들러 (robotic handler) 가 장착되어 있어 처리 단계에서 웨이퍼가 손상되지 않습니다. 이 자동화는 또한 프로세스 반복성과 일관성을 향상시키고, 생산량을 높이고, 운영 효율성을 향상시키는 데 도움이 됩니다. 또한 870S-L은 매우 유연하고 다양한 생산 요구 사항에 적응할 수 있도록 설계되었습니다. 이 기계는 다양한 크기의 반도체 웨이퍼 (wafer) 를 수용할 수 있으며, 제조업체는 동일한 플랫폼에서 다양한 유형의 장치를 처리 할 수 있습니다. 또한, SEMITOOL 870S-L은 다양한 처리 응용 프로그램의 특정 요구를 충족하기 위해 다양한 디스펜스 헤드 (dispense head), 스핀 속도 (spin speed), 온도 조절 설정 등 다양한 사용자 정의 옵션을 제공합니다. 처리 능력 측면에서 870S-L은 코팅, 개발, 베이킹 등 다양한 포토 esist 처리 단계를 수행 할 수 있습니다. 이 도구 는 "와퍼 '에 감광 물질 을 정확 하게 분배 하여, 원하는 두께 와" 커버리지' 를 달성 할 수 있도록 할 수 있다. 빛과 개발에 노출 된 후, 에셋은 베이킹 (baking) 과 같은 후처리 단계를 수행하여 포토레스 레이어의 적절한 접착 및 안정성을 보장 할 수도 있습니다. 또한 SEMITOOL 870S-L에는 온도, 압력, 유량 (flow rate) 과 같은 프로세스 매개변수를 지속적으로 모니터링하여 최적의 처리 조건을 보장하는 고급 모니터링 및 제어 시스템이 장착되어 있습니다. 또한 고급 소프트웨어 제어 (Advanced Software Control) 기능을 통해 제조 프로세스 전반에 걸쳐 일관성과 품질을 유지할 수 있는 프로세스 매개변수 (Process Parameter) 를 실시간으로 조정하고 최적화할 수 있습니다. 전반적으로, 870S-L은 반도체 제조업체가 고품질 반도체 장치를 생산해야 할 정밀도, 효율성, 유연성을 제공하는, 매우 고급적이고 신뢰할 수 있는 포토레시스트 (photoresist) 처리 장비입니다. 고급 자동화, 사용자 정의 옵션, 프로세스 제어 기능을 갖춘 SEMITOOL 870S-L 은 높은 수율 달성, 생산성 향상, 반도체 업계의 엄격한 요구 사항 충족을 위한 유용한 툴입니다.
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