판매용 중고 SEMITOOL 870F #9268564
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세미 툴 870F (SEMITOOL 870F) 는 기판 표면에 감광성 물질 층을 패턴화하는 데 사용되는 포토 esist 장비입니다. 반도체 부품 및 장치의 제작에 맞게 특별히 조정되어 있습니다. 이 시스템은 접촉 개구부, 게이트 전극 개구부, 비아 (vias), 금속 선 등 다양한 유형의 패턴을 만드는 데 사용될 수 있습니다. 870F에는 디지털 이미징 장치 (digital imaging unit) 가 장착되어 기판의 패턴을 정확하고 정확하게 렌더링합니다. 이 기계는 고해상도 디지털 카메라, 고배율 광학, 확대/축소 메커니즘을 통합하여 매우 정확한 패턴을 제공합니다. 카메라는 0.1 미크론에서 0.2 미크론까지의 다양한 해상도로 설정할 수 있으며 x, y 및 z축 이동 기능은 무제한 정확도를 제공합니다. SEMITOOL 870F는 스캐닝 단계를 사용하여 X, Y 및 Z축 이동 기능으로 노출 영역을 정확하게 제어합니다. 이를 통해 패턴 처리 (patterning process) 를 정확하게 제어할 수 있으므로 원하는 패턴이 정확하고 일관되게 형성됩니다. SCS-211C 노출 도구는 자동 기판 클램핑을위한 진공/압력 기반 슬라이드 척 (slide chuck) 과 정밀 기판 이동을 위해 최대 정확도 5nm의 고정밀 모듈식 차동 드라이브 에셋을 통합합니다. 또한 870F (Modular Processing Chamber) 는 다양한 코팅 및 프로세싱 요구에 높은 유연성을 제공하는 모듈식 프로세싱 챔버를 갖추고 있습니다. 예를 들어, 기판에 패턴화 된 재료를 적용하는 데 사용되는 in-situ spin-coating/resist 코팅 챔버가 특징입니다. 챔버에는 통합 저항 스핀 암, 열전대, 진공/압력 기반 기판 척 및 자동 속도 제어를 갖춘 사전 설정된 레이디 얼 스피너 헤드 드라이브 모델이 있습니다. SEMITOOL 870F는 복잡한 반도체 장치 제작 및 패턴 작성 프로세스에 비용 효율적인 솔루션을 제공하는 효율적인 포토리스 (photoresist) 장비입니다. 모듈식 아키텍처는 다양한 프로세스 단계에 유연성을 제공하며, 내장형 디지털 이미징 시스템 (Digital Imaging System) 은 복잡한 구조의 고정밀 패턴을 제공합니다. 또한, 자동화 기능과 내부 챔버 (in-situ chamber) 시스템은 일관된 프로세스 제어를 제공하여 장치의 최대 수율과 출력을 보장합니다.
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