판매용 중고 SEMITOOL 870F #178373
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ID: 178373
Spin Rinse Dryer (SRD), up to 6"
Double stack on a roll around cart
Possible options include: rotors, static eliminator, resistivity monitor and water recirculator
"F" model has the class 10 poly, brush motors and the P-328 controllers.
SEMITOOL 870F (SEMITOOL 870F) 는 반도체 웨이퍼 프로세싱의 정확성과 효율성을 높이기 위해 설계된 완전 자동화된 고성능 포토레시스트 개발 및 스트립 장비입니다. 이 시스템은 고급 포토레시스트 (photoresist) 개발 및 클린 룸 통합을 위한 광대하고 안정적인 플랫폼을 제공합니다. 870F는 높은 처리량으로 설계되어 시간당 최대 800 회 실행됩니다. 최대 200mm 크기의 기판을 처리 할 수있는 리플 컨베이어 장치 (Ripple Conveyor Unit) 를 제공하는이 포토레지스트 머신은 여러 모듈에서 효율적이고 동시 처리 할 수 있습니다. 유연한 챔버 (chamber) 구성으로 완성된이 제품은 다양한 공정 화학 물질을 적용하는 기능을 제공하며, 약실 내 오염을 줄이는 데 도움이 되는 무정비 정적 중화 필터 (static neutralizing filter) 를 포함합니다. 이 도구는 또한 인체 공학적 디자인이 특징입니다. 그것 은 여러 가지 섬세 한 작용 을 수행 하며, 위험 한 광학 방사선 으로부터 사람 들 을 보호 할 수 있는 빛 의 "커튼 '을 갖추고 있다. 다양한 설계로 인해 SEMITOOL 870F는 종합적인 엔지니어링 솔루션을 위해 다른 SEMITOOL 프로세스 모듈과 쉽게 통합 할 수 있습니다. 또한 870F 는 다양한 안전 기능을 제공하여 운영 중 다운타임과 중단을 줄입니다. 최대 4,000 개의 레시피를 저장할 수 있으며, 최고 수준의 수율을 보장하는 최적의 프로세스 매개 변수를 제공합니다. 강력하고 직관적인 소프트웨어로 개선되었으며, 레시피를 쉽게 연구, 수정, 저장할 수 있습니다. 전반적으로, SEMITOOL 870F 포토 esist 자산은 광범위한 응용 분야에서 고급 개발 및 기판 스트립을 용이하게합니다. 다중화된 통합 기술은 통합과 운영을 단순화하는 한편, 탁월한 성능과 안정성을 제공합니다.
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