판매용 중고 SEMITOOL 870F #151768

SEMITOOL 870F
제조사
SEMITOOL
모델
870F
ID: 151768
웨이퍼 크기: Up to 6"
Dual stack spin rinse dryer, up to 6".
SEMITOOL 870F (Photoresist Equipment) 는 고정밀도 사진 분석 프로세스를 위한 높은 처리량과 시간 효율성을 제공하도록 설계된 Photoresist Equipment입니다. 대규모 기판을 처리 할 수 있으며, 가장 까다로운 사진 해설용 (photolithography) 응용 프로그램에 전문적인 품질의 결과를 제공합니다. 이 시스템은 모듈식 (modular) 설계를 통해 공구를 보다 다양하게 사용할 수 있습니다. 이 장치의 주요 장점 중 하나는 최소한의 유지 보수 요구 사항입니다. 이 기계는 설치 시간이 최소화되고 수작업 (Manual Intervention) 이 없는 완전 자동화 (Fully Automated) 모드로 작동하여 처리량 및 비용 절감 효과를 높이도록 설계되었습니다. 870F 도구는 여러 스톱이있는 구불 구불 한 트랙 경로를 특징으로하는 직경이 큰 트랙을 갖추고 있습니다. 이 트랙은 강력한 가속 및 감속을 제공하면서 기판 수송 시간을 최소화하도록 설계되었습니다. 성능 최적화 모터는 로드 및 언로드하는 동안 정확하고 반복 가능한 동작을 보장합니다. 이 단계는 최대 600mm (mm) 의 이동 거리로 정렬 (alignment) 및 노출 (exposure) 사이트를 정확하게 배치할 수 있도록 설계되었습니다. 이 자산은 레시피를 쉽게 사용자 정의하기 위해 직관적 인 사용자 인터페이스를 제공합니다. 이 모델은 기판 인식, 노출 제어, 플레이트 로딩 등과 같은 다양한 고급 기능을 제공합니다. 통합 패턴 인식 소프트웨어를 사용하면 매우 복잡한 '그리드 (grid)' 노출을 신속하게 설정하고 제어할 수 있습니다. SEMITOOL 870F 장비는 통합 포토레지스트 프로세서도 제공합니다. 이 기능을 사용하여 사용자는 시스템에 로드하기 전에 자동으로 레지스트 코팅 (resist-coated) 기판을 청소하고 말릴 수 있습니다. 이를 통해 낭비되는 포토리스 (photoresist) 재료를 줄이고, 처리량과 정확도를 높이고, 비용 절감을 극대화할 수 있습니다. 이 장치는 또한 기판을 빠르게 적재 및 언로드할 수 있도록 설계되었으며, 최대 적재 시간은 기판 당 0.3 초 (0.3 초) 입니다. 사용자 편안함을 향상시키는 인체 공학적 인간 머신 인터페이스가 특징입니다. 또한, 통합 프로세스 모니터링 소프트웨어는 모든 실행에서 일관되고 안정적인 성능을 보장합니다. 전반적으로, 870F는 고정밀 사진 다이어그래피 프로세스에 적합한 강력하고 고급형 Photoresist Machine입니다. 시간 효율성, 처리량 향상, 고급 기능, 최소한의 유지 보수 요건으로 비용 절감 효과를 제공합니다.
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