판매용 중고 SEMITOOL 870F/L #9266741

SEMITOOL 870F/L은 포토 esist의 정확한 코팅 및 개발을 제공하기 위해 설계된 Photoresist Equipment입니다. 반도체와 디스플레이를 포함한 다양한 응용 분야에 이상적입니다. 이 시스템에는 2 단계 밀도계, 통합 포토 esist 매핑 장치, 프로그래밍 가능한 스프레이 및 처리 매개변수, 균일 한 기판 커버리지에 대한 자동 속도 제어 (automated speed control) 와 같은 고급 기능이 제공됩니다. 기계는 기판 전체에서 최대 3.5% 균일 한 성능을 제공 할 수 있습니다. 이 공구에는 2 개의 처리 챔버 (전면 챔버 (스프레이 챔버)) 와 후면, 층류 플로우 챔버 (스트립 챔버) 가 있습니다. 스프레이 챔버 (spray chamber) 에서, 양면 스프레이 암 (double sided spray arm) 을 사용하여 광사 물질을 기판의 양쪽으로 균등하게 전달한다. 그런 다음, 방울은 각 응용 프로그램에 대해 미세 조정 된, 개별적으로 작동하는 두 개의 스피너를 통과합니다. 이것은 전체 기판에 걸쳐 photoresist 레이어의 최적의 균일성을 달성하는 데 도움이됩니다. 스트립 챔버 (strip chamber) 는 기판에 포토 esist 레이어의 균일 한 정리를 제공하는 데 사용됩니다. 이 챔버 (chamber) 는 층류 유동 기술을 통합하여 포토 esist 레이어를 정확하게 제거 할 수 있습니다. 약실 에는 모든 기판 에 적합 한 깊이 의 "에치 '를 사용 할 수 있는 고정밀" 노즐' 이 있다. 이 프로세스는 또한 반복 가능하며 매우 정확한 결과를 보장합니다. 870F/L 포토레시스트 (photoresist) 자산에는 신뢰성과 효과를 보장하는 일련의 고급 기능도 포함되어 있습니다. 이 모델에는 신뢰할 수있는 밀도계가 포함되어 있어 포토 esist 레이어 두께를 정확하게 측정 할 수 있습니다. 또한, 통합 매핑 장비는 photoresist 레이어의 결함을 정확하게 감지하고 추적하는 데 도움이됩니다. 이는 최고 품질의 반복 가능한 생산 표준을 보장하는 데 도움이됩니다. 세미툴 (SEMITOOL) 870F/L 포토레지스트 (photoresist) 시스템은 포토레시스트 처리에 효율적인 솔루션을 제공하는 고급적이고 신뢰할 수있는 장비로, 다양한 어플리케이션에 적합합니다. 단위가 포함하는 피쳐의 조합을 통해 광저장치 재료 (photoresist material) 의 균일한 레이어, 정밀한 정리 절차 (clean-down procedure) 및 레이어 두께의 정확한 측정을 전달할 수 있습니다. 이렇게 하면 프로세스가 정확하고 일관되게 유지됩니다.