판매용 중고 SEMITOOL 870D #84759

SEMITOOL 870D는 반도체 웨이퍼를 처리하도록 특별히 설계된 포토 esist 시스템입니다. 유전체 에칭, 포토 esist 스트리핑 및 웨이퍼 클리닝 프로세스에 적합하며, 이러한 응용 분야에 반도체 산업에서 사용됩니다. 870D는 공격적인 에칭 (etching) 에서부터 정밀한 에칭 (etching) 에 이르기까지 광범위한 어플리케이션과 프로세스를 위한 고성능 솔루션을 제공합니다. SEMITOOL 870D에는 2 개의 독립 프로세스 모듈, 가열된 PC 제어 웨이퍼 척, 가열된 PC 제어 샘플 트레이, UV 홍수 및 램프 입력, 비활성 가스 입력 및 폐쇄 루프 프로세스 제어를 포함한 몇 가지 주요 기능이 있습니다. 870D는 가열된 PC 제어 웨이퍼 척 (wafer chuck) 을 사용하여 균일 한 가열 및 에친트 분배를 보장하고 입자 오염을 최소화합니다. 가열된 샘플 트레이는 포토 esist가 웨이퍼에 균등하게 적용되도록 합니다. 이것은 높은 래치 업 및 종횡비를 보장하고 결함의 형성을 줄입니다. 자외선 홍수 및 램프는 에칭 전에 포토 esist를 활성화시키는 데 사용됩니다. 또한 SEMITOOL 870D에는 수집을 개선하고 오염을 줄이기 위해 비활성 가스 입력이 있습니다. 870D는 선택 가능한 에칭 속도와 균일 한 에칭을 제공하여 제조 수율을 증가시킬 수 있습니다. 또한 SEMITOOL 870D는 온보드 에너지 모니터링, 실시간 프로세스 모니터링, 에치 후 분석, 즉석 작동 시 수정 등의 도구를 통해 폐쇄 루프 (closed-loop) 프로세스 제어를 통해 정확하고 반복 가능하며 신뢰할 수 있습니다. 이 데이터를 사용하여 프로세스가 필요한 모든 매개변수 (parameter) 내에 있는지 확인할 수 있습니다. 870D는 최신 반도체 기술을 제공하며, 사용이 뛰어난 포토리스 시스템입니다. SEMITOOL 870D 의 고급 기능 및 기능은 안정적이고 효율적인 워크플로우를 보장하며, 프로세스 처리량 (throughput) 과 수익률을 높일 수 있습니다. 폐쇄 루프 프로세스 제어 (closed-loop process control) 는 또한 프로세스의 무결성을 보장하기 위해 강력하고 정확한 솔루션을 제공하여 870D를 반도체 제조에 이상적인 솔루션으로 만들었습니다.