판매용 중고 SEMITOOL 870 #9265753

SEMITOOL 870 photoresist 장비는 photoresist 물질로 웨이퍼를 처리하기위한 자동 플랫폼입니다. 광전자 (photoresist) 는 빛에 민감한 웨이퍼 (wafer) 표면에 적용되는 화학 코팅으로, 리소그래픽 패턴을 웨이퍼 (wafer) 표면에 전달하는 데 사용될 수 있습니다. 870 photoresist 시스템은 정확한 리소그래피 공정으로 높은 정확성과 생산성을 제공합니다. "헬륨 스핀-코터 '로" 웨이퍼' 를 포토 esist 물질의 균일 한 층으로 코팅한다. 스핀 코터는 소프트웨어 구성 가능한 스핀 속도 및 온도 조절 레시피로 설계되어 균일 한 프로세스 결과를 제공합니다. 이 장치의 정확한 코팅 (coating) 및 균일 한 두께는 표준화 프로세스의 필요성을 제거하고 처리량을 증가시킵니다. SEMITOOL 870은 스핀 코팅 과정에서 웨이퍼를 정확하게 정렬하고 제어하는 전동 XY 거미 공정 플래튼 (motorized XY spider process platen) 을 특징으로합니다. 이 기계는 또한 저응력 포토 마스크 정렬기 (low-stress photomask aligner) 를 포함하며, 최대 50nm의 해상도를 가지고 있으며, 웨이퍼 표면에 대한 포토 마스크 및 하드 마스크를 정확하고 반복적으로 정렬합니다. 이 도구는 프로그래밍 가능한 온도 제어 및 프로세스 모니터링 (단일 뷰 프로세스 레시피) 을 제공하여 운영자 상호 작용을 단순화합니다. 내장 건조 펌핑 (dry-pumping) 자산은 별도의 진공 발전기가 필요하지 않으므로 노출 카세트와 마스크의 수동 교환이 필요하지 않습니다. 또한 공간 필터 (spatial filter) 는 광원 트렌드에 대한 액세스를 단순화하고 웨이퍼 (wafer) 에 지속적으로 균질한 빛을 노출시키는 동시에 표면을 가로 질러 그림자 스테핑을 최소화합니다. 870은 안정적인 프로세스 제어 및 생산의 유연성을 위해 설계되었습니다. 이 모델은 모든 저항 유형에 대해 다양한 웨이퍼 (wafer) 크기와 두께를 수용하며 재보정 (recalibration) 없이 새로운 프로세스 레시피 변경에 빠르게 적응할 수 있습니다. 장비는 유지 보수가 용이하도록 설계되었으며, 부품 교체는 간단하고 깔끔합니다. 또한 여러 프로세스 모니터링 툴이 구성된 경우, 운영자는 신속하게 프로세스 상태를 확인하고 확인할 수 있습니다. SEMITOOL 870은 정확하고 반복 가능한 생산이 필요한 모든 photoresist 생산 과정에 이상적입니다. 균일 한 공정 과 높은 정확도 로, 870 은 생산성 과 제조 수익률 을 향상 시키기 위해 노력 한다. 따라서 photoresist 생산에 귀중한 도구입니다.