판매용 중고 SEMITOOL 870 #9139664

SEMITOOL 870 photoresist 장비는 금속, 세라믹, 실리콘 등 다양한 기질 물질에서 에칭 및 패턴 처리를 위해 효율적이고 신뢰할 수있는 도구입니다. 이 시스템에는 안정적이고 유지 보수가 불가능한 RIE (Reactive Ion Etch) 기능이 있는 10 인치 온도 조절 플래터가 장착되어 있습니다. 870 은 반응성 "가스 '의 조합 을 이용 하여 전기장 과 자기장 을 가진 물질 의 광저항 (photoresist) 무늬 를 식각 (etch) 시키며, 그 로 인해 식각 과정 에서 현저 한 정밀도 와 속도 를 낼 수 있다. 무접촉, 물리적 증기 증착 (PVD) 장치를 사용하면 저항 마스크 증착의 타이밍 및 밀도를 제어할 수 있습니다. NiFe, SiC, Nb 및 Ti를 포함한 다양한 기판을 SEMITOOL 870으로 처리 할 수 있으므로 다양한 응용 프로그램에 적합합니다. 870에는 6 개의 프로그래밍 가능한 영역과 최대 6 개의 사용자 정의 레시피가있는 내장 프로그래밍 가능한 컨트롤러도 제공됩니다. "플래터 '의 일부 부분 을 원하는 온도 로 재가열 하여 신속 한" 공정' 반복 을 할 수 있는 능력 이 있다. 세미 툴 870 (SEMITOOL 870) 의 정밀도는 열역학적으로 강화 된 기계적 분배 밸브로 더욱 향상되어 최소 수의 샷 투 샷 (shot-to-shot) 변형으로 안정적인 분배 성능을 제공합니다. 이 기계는 또한 자동 마스크 전송 및 로딩, 구성 가능한 Etch 및 Photoresist Plating 레시피, 지속적인 가스 흐름 모니터링, 레이저 도량형 및 드레인 탱크와 같은 옵션을 자랑하며 최대 10 개의 컨테이너로 강력한 저항 단계를 제공합니다. 메탈, 규산염 기반 저항을 포함한 다양한 저항 물질을 사용할 수 있으며, 멀티 애플리케이션 프로세스에 대한 저항을 변경할 필요가 없습니다. 또한, 870의 빠른 정렬 기능을 통해 기판에서 기판까지의 정렬 시간이 최소화됩니다. 세미툴 (SEMITOOL) 870 (SEMITOOL) 은 다양한 제작 프로세스를 지원하는 비용 효율적이고, 안정적이며, 고급 포토리스 (photoresist) 툴로, 고품질 에칭 자산을 검색하는 사람들에게 적합한 솔루션입니다.