판매용 중고 SEMITOOL 870 #84266

SEMITOOL 870은 고급 반도체 응용 프로그램을 위해 특별히 설계된 고성능 포토 esist 장비입니다. 광전물질 (photoresist) 은 빛이나 다른 형태의 방사선에 노출되어 패턴 또는 다른 구조를 만드는 화학 물질이다. 870은 포토 esist 필름의 효율적이고 정확한 처리를 제공합니다. SEMITOOL 870 시스템은 포토 esist 처리에 탁월한 정확성과 반복 성을 제공합니다. 삼중 축 단계 (triple-axis stage) 는 기판 및 포토 지스트의 매우 정확한 위치 지정 및 이동을 제공하며, 최고 수준의 프로세스 제어를 통해 빠르고 균일 한 커버리지를 가능하게합니다. 각 프로세스마다 사용자 정의 제어 매개변수를 사용하여 다양한 처리 (processing) 기술을 사용할 수 있습니다. 사용자에게 친숙한 그래픽 인터페이스는 레시피 프로그래밍을 지원하고 단순화합니다. 6 개의 챔버 설계는 이중 안전 이중화 (Redundant Safety Redundancy) 와 유지 보수 및 고급 처리를 위해 가스 유형을 증가시킵니다. 고급 UV 조명 소스는 매우 낮은 경량 (stray light) 레벨로 최적화된 이미지 및 패턴 품질을 제공합니다. 870은 고급 소프트웨어를 사용하여 디자인 레이아웃과 정확하게 일치하는 정확하고 반복 가능한 포토 마스크 (photomask) 를 제공합니다. 이 기계는 또한 높은 처리량 (throughput) 과 여러 기판을 동시에 사용할 수 있는 기능을 갖추고 있습니다. SEMITOOL 870은 고정밀하고 복잡한 포토 esist 처리에 이상적인 솔루션입니다. 패턴 매개변수 (pattern parameter) 와 노출 시간 (exposure time) 을 정확하게 제어하는 포토리스 필름의 빠르고 안정적인 처리를 제공합니다. 높은 처리량과 정확한 생산 주기를 통해 다운타임을 최소화하면서 생산량 및 비용 절감 효과를 높일 수 있습니다. 870 (고급 기능 및 견고한 구조) 은 반도체 포토레지스트 응용에 적합한 선택이다. 정확한 제어, 짧은 주기 시간, 높은 처리량을 통해 포토레스 처리 (photoresist processing) 를 위한 안정적이고 효율적인 솔루션이 됩니다.