판매용 중고 SEMITOOL 870 #293774974

SEMITOOL 870은 반도체 제조 공정에 사용되는 고도로 고급적이고 다재다능한 포토 esist 장비입니다. 최첨단 기술 및 정밀 엔지니어링으로 설계된 이 시스템은 반도체 제조업체에 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 에 코팅, 개발, 베이크 포토레지스트 (photoresist) 재료를 장착할 수 있는 탁월한 정확성과 효율성을 제공합니다. 870 은 집적 회로, MEMS 장치 및 기타 반도체 부품 을 제조 하는 데 필수적 인 도구 로서, "실리콘 '기판 에 복잡 한" 패턴' 과 구조 를 조성 할 수 있다. 세미툴 870 (SEMITOOL 870) 의 주요 특징 중 하나는 자동화된 프로세스 제어 장치 (process control unit) 로, 일관되고 재현 가능한 코팅 및 포토 esist 재료의 개발을 가능하게한다. 이 기계에는 고급 센서와 모니터링 기능이 장착되어 있어 디스펜스 볼륨 (dispense volume), 스핀 속도 (spin speed), 온도 (temperature), 시간 (time) 과 같은 중요한 프로세스 매개변수를 정확하게 제어할 수 있습니다. 이러한 매개변수에 대한 엄격한 제어를 유지함으로써, 870은 웨이퍼에 균일하고 고품질의 포토레지스트 코팅 (photoresist coating) 을 달성하여 장치 성능 및 신뢰성을 향상시킬 수 있습니다. 세미 툴 870 (SEMITOOL 870) 에는 빠른 가속 및 감속 속도를 달성 할 수있는 고속 스핀 코터 (spin coater) 가 장착되어 다양한 크기의 웨이퍼에 포토 esist 재료를 빠르고 효율적으로 코팅할 수 있습니다. 이 도구는 다양한 포토 esist 제형 및 프로세스 요구사항을 수용하기 위해 다양한 스핀 속도 (spin speed) 및 사용자 정의 가능한 스핀 프로그램을 제공합니다. 또한, 스핀 코터 (spin coater) 에는 웨이퍼 표면에 포토 esist 물질의 정확하고 일관된 분포를 보장하고 결함을 최소화하고 수율 향상을 보장하는 정밀 분배 자산이 장착되어 있습니다. 고급 코팅 기능 이외에도, 870 은 정교한 개발 모듈을 갖추고 있어 웨이퍼 (wafer) 표면에서 노출되지 않은 포토레지스트 (photoresist) 재료를 정확하게 제거 할 수 있습니다. 이 모듈에는 프로그래밍 가능한 스프레이 노즐 (spray nozzle) 모델이 장착되어 있어 웨이퍼 전체에 걸쳐 개발자 솔루션을 균등하게 제공하므로 포토 esist 패턴의 균일 한 개발이 가능합니다. 장비의 고급 모니터링/제어 기능을 통해 실시간 피드백 (feedback) 과 조정 (adjustment) 을 통해 개발 프로세스를 최적화하고 개발 과잉/개발 위험을 최소화할 수 있습니다. 또한, SEMITOOL 870에는 웨이퍼 표면에서 포토 esist 물질을 빠르고 균일 하게 경화시킬 수있는 고온 베이크 모듈이 장착되어 있습니다. 이 모듈은 사용자 정의 가능한 베이크 레시피 및 프로그래밍 가능한 온도 프로파일을 특징으로하여 다양한 포토 esist 제제 및 프로세스 사양을 수용합니다. 베이킹 (baking) 과정을 정확하게 제어함으로써, 870은 포토 esist 물질을 완전히 치료하여 웨이퍼에 접착 및 패턴 정의가 향상됩니다. 전체적으로, SEMITOOL 870은 반도체 제조업체가 뛰어난 정밀도 및 효율성을 가진 코팅, 개발 및 베이킹 포토 esist 물질을위한 포괄적 인 솔루션을 제공하는 최첨단 포토 esist 시스템입니다. 고급 자동화 (Automation), 공정 제어 (Process Control), 모니터링 (Monitor) 기능을 갖춘 이 장치는 복잡한 패턴과 구조를 갖춘 고품질 반도체 장치를 생산하여 반도체 제조 업계에서 없어서는 안될 도구입니다.