판매용 중고 SEMITOOL 860S #9137504

SEMITOOL 860S는 집적 회로 (IC) 및 기타 반도체 웨이퍼 처리에 사용되는 완전 자동화 된 포토 esist 스트립 장비입니다. 이 시스템은 관리 환경 (예: 웨이퍼 구성 시설) 에서 높은 생산성을 발휘하도록 설계되었습니다. IC에서 포토레지스트 두께 레이어를 정확하게 정확히 파악할 수있는 매우 정확한 단위가 특징입니다. 860S는 캐스트 알루미늄 프레임 (cast aluminum frame) 으로 구성되며, 그 위에 주 프로세스 모듈이 마운트되어 있습니다. 이 모듈은 가열 된 미디어를 순환하여 웨이퍼 (wafer) 상단에서 포토 esist (photoresist) 를 제거하고 나머지 포토 esist (photoresist) 를 구호하는 일련의 채널로 구성됩니다. "채널 '은 일관성 있는 결과 를 보장 하기 위하여 균일 한 온도 를 제공 하며," 가스' 압력 은 균일 한 범위 에 맞게 조정 될 수 있다. 이 기계는 또한 독점적 인 소프트웨어를 특징으로하며, 이 도구를 제어하고 다양한 포토레지스트-스트립 (photoresist-strip) 프로그램을 제공합니다. 이 소프트웨어에는 '장애' 및 '외부 간섭' 으로부터 자산을 보호하기 위해 설계된 여러 가지 안전 기능이 포함되어 있습니다. 또한 모델 (Model) 을 운영자의 요구사항에 맞게 조정할 수 있는 다양한 옵션을 제공합니다. 세미 톨 860 년대 (SEMITOOL 860S) 는 또한 과열 (over-heating) 이 손상되고 결과가 좋지 않기 때문에 챔버에서 포토 esist의 온도를 유지하도록 특별히 설계된 냉각 모듈을 가지고 있습니다. 냉각 모듈을 통해 연산자는 원하는 온도 범위 (temperature range) 와 압력 (pressure), 복사열 (radiative heat), 대기 오염 물질 (atmospheric contaminant) 과 같은 광범위한 다른 조건을 설정할 수 있습니다. 전반적으로, 860S는 IC 및 기타 반도체 부품 생산에서 최적의 성능을 위해 설계된 혁신적인 포토레시스트 (photoresist) 장비입니다. 정확한 제어, 온도 범위, 압력 수준, 안전 기능의 조합으로 하이테크 생산에 이상적인 선택이됩니다. 이 시스템은 또한 매우 프로그래밍 가능하므로 운영자가 최적의 성능을 위해 설정 (settings) 과 결과를 사용자 정의할 수 있습니다.