판매용 중고 SEMITOOL 860S #16794

SEMITOOL 860S Photoresist Equipment는 완전히 자동화 된 릴 투 릴 습식 처리 시스템입니다. 정밀하고 반복 가능한 프로세스가 필요한 더 미세한 지오메트리를 갖춘 반도체 소자의 대용량 생산을 위해 설계되었습니다. 860S 장치는 '스트립 (strip), 클린 (clean), 스핀/제거 및 건조 (spin/removal and dry)' 프로세스를 포함하여 광범위한 처리를 하나의 머신에 통합할 수 있는 모듈식 플랫폼을 기반으로 처리량이 많은 애플리케이션을 위한 효율적이고 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 이 도구에는 스테인리스 벨트 컨베이어, 수동 또는 광학 정렬, '메쉬 또는 앞치마' 파티션, 공정 제어 장치, 소프트웨어, 펌프, 탱크 및 필터로 구성된 주 모듈이 포함됩니다. 자산에는 추가 '건조기' 모듈이 있습니다. 이 장치는 온보드 센서 및 자동 제어 (automated controls) 를 사용하여 완전한 프로세스 자동화를 허용합니다. 이 모델은 또한 다양한 기판 및 프로세스 조합에 대한 분리 처리 (isolated processing), 배치 모드 설정 (batch mode setup) 및 프로그래밍 가능한 설정을 제공합니다. SEMITOOL 860S 장비는 남은 포토 esist 레이어의 에칭 및/또는 증착 중에 프로세스를 최적화하고 제어하도록 설계되었습니다. "시스템 '은" 기판' 을 정확 하게 운반 하고 정확 하게 정렬 하고 필요 한 화학물 들 을 기판 의 부면 으로 정확 하게 분배 하도록 구성 될 수 있다. 이 장치는 낮은 화학 물질을 사용하여 비용과 폐기물을 줄입니다. 온보드 센서는 실시간 제어 및 모니터링 (monitor-time control and monitoring) 기능을 제공하여 화학적 농도와 매개변수를 조정하여 프로세스 결과를 최적화합니다. 860S 머신은 반도체 장치 생산을 위해 포토 esist 처리에서 반복성과 신뢰성을 제공합니다. 기판 재료를 높은 속도로 처리하고 손쉬운 유지보수 (maintenance) 와 지원을 통해 비용을 절감할 수 있습니다.