판매용 중고 SEMITOOL 860S #151778

SEMITOOL 860S (SEMITOOL 860S) 는 다양한 반도체 제작 응용 프로그램에 빠르고, 정확하며, 신뢰할 수있는 리소그래피를 제공하는 포토리스 처리 장비입니다. 이 시스템에는 정밀 전동 웨이퍼 스테이지, 폐쇄 루프 온도 제어 및 Photoresist 최적화 기능이 포함됩니다. 860S에는 대형 형식의 알루미늄 히트싱크, 진공 척 장치 및 정밀 전동 웨이퍼 스테이지가 장착 된 600 X 800mm 정밀 패널 베이스가 있습니다. Cambridge ESI 4560 고급 컨트롤러는 프로세스 매개변수 및 데이터의 제어, 모니터링 및 표시를 처리합니다. UMPC의 동적 서보 제어는 안정적인 프로세스와 높은 처리량을 보장합니다. SEMITOOL 860S는 정확하고 반복 가능한 공정 온도를 제공하는 닫힌 루프 온도 제어로 설계되었습니다. 각도계 (pyrometer) 와 열전대 (thermocouple) 의 배열은 웨이퍼 온도를 실시간으로 모니터링하여 프로세스 반복성을 보장합니다. IRBAPF10은 정확한 웨이퍼 레벨링 및 정렬을 위해 동력 웨이퍼 스테이지에 광학 피드백을 제공합니다. 기계의 고급 자동화는 자동화된 사전 코팅 (pre-coating), 코팅 프로파일 (coating profile) 및 저항 스트립 프로파일 (resist strip profile) 을 포함한 프로세스 최적화를 제공합니다. 고급 기판 처리기는 웨이퍼 처리 및 정렬에도 사용됩니다. 또한 관리/유지 보수 작업을 자동화하여 장기간 안정적인 성능을 보장할 수 있습니다 (영문). 860S는 정밀도, 속도, 정확성으로 반도체 제작 공정의 석판화 (lithography) 응용 분야에 적합한 선택입니다. 프로세스 제어 기능과 자동화된 도구를 갖춘 SEMITOOL 860S (SEMITOOL 860S) 는 반도체 저항 처리를 위한 안정적이고, 정확하며, 경제적인 선택입니다.