판매용 중고 SEMITOOL 860F #84179

SEMITOOL 860F는 반도체 장치의 제조에 주로 사용되는 포토 esist 장비입니다. 이 시스템에는 마스크 및 기판 배치를 정확하게 제어하기위한 포토 헤드 (photohead) 와 커스텀 로봇 암 (custom robotic arm) 이 포함되어 있으며, 매우 작고 복잡한 패턴의 고르고 효율적인 포토 esist 코팅이 가능합니다. 이 장치는 또한 4 단계 냉각 트레이 및 가열 된 용매 트레이, 스핀 코트, 스프레이 코트, 웨이퍼 온도, 압력 및 기타 가변 조건에 대한 실시간 모니터링 등 다양한 옵션을 제공합니다. 860F 기계는 Methylisobutylketone (MIBK) 및 2- Methylisobutylketone (MIBK II) 과 같은 용매 공정과 폴리 이미드, 폴리 우레탄 및 실리콘 옥시 니트 라이드 솔루션과 같은 고체 시스템을 지원할 수 있습니다. 이 도구는 또한 정전기, 다양한 노즐 홀 크기, 균일 한 흐름, 낮은 에어로졸 형성과 같은 고급 스프레이 기술을 제공합니다. 이 정밀 제어를 통해 투과성 접촉층 (Permable Contact Layer) 과 같은 피쳐를 코팅하기 어렵고 SRAM 메모리 셀 (SRAM Memory Cell) 과 같은 작은 피쳐와 회로 구조를 패턴화할 수 있습니다. 또한 SEMITOOL 860F 는 프로세스 균일성 향상을 위한 낮은 k값 디스펜서 (dispenser) 를 제공하며, 고급 컨트롤을 통해 프로세스 최적화를 쉽게 수행할 수 있습니다. 에셋은 또한 0.18um 에서 5um 사이의 기능 크기를 지원하므로 수동 마스크 정렬이 필요 없습니다. 860F는 2 단계 베이킹 오븐, 조절 가능한 가스 퍼지 및 Low-ESD 구조와 같은 안전 기능을 자랑하여 안정적이고 안전한 포토 esist 프로세스 도구입니다. 요약하자면, 세미툴 860F (SEMITOOL 860F) 는 복잡한 패턴의 비용 효율적이고, 안정적이며, 고해상도 패턴화를 가능하게 하는 강력한 포토리스 (photoresist) 모델로, 가장 발전된 반도체 제조 공정에 적합합니다.