판매용 중고 SEMITOOL 860 #9265751

세미툴 860 (SEMITOOL 860) 은 반도체 소자 제조에 사용할 사진 리토그래피 응용 프로그램을 가능하게하도록 설계된 포토리스 (photoresist) 장비입니다. 이 시스템은 4 개의 별개의 구성 요소, 포토 마스크 정렬 기, 스핀 개발자, 스크러버 및 트랙으로 구성됩니다. Photomask 정렬기는 패턴을 웨이퍼에 읽고, 정렬하고, 투영하는 광학 도구로 구성됩니다. 정밀도가 1um 이하인 패턴을 읽을 수 있으며, 사용자 조정 가능한 패턴 정의 (definition) 와 노출 시간 (exposure time) 을 제공합니다. 860의 스핀 개발자 (spin developer) 기능은 원심 힘을 사용하여 저항막 층을 웨이퍼 표면에 빠르고 정확하게 배치합니다. 이렇게 하면 프로세스 속도와 정확도가 향상되고, 또한 대용량 (High) 및 저용량 (Low Volume) 애플리케이션의 재료를 절약할 수 있습니다. 스크러버 (scrubber) 는 개발 과정 후 웨이퍼에서 과도한 포토 esist 물질을 제거하도록 용이하게한다. "스크러버 '에는" 브러쉬 드럼', 부드러운 "브러쉬 '청소 용" 로울러', 보다 적극적 인 청소 용 "패들 롤러 '가 들어 있다. 둘 다 정전기 필드를 사용하여 원치 않는 재료를 유치하고 제거합니다. 장치의 최종 구성 요소는 트랙입니다. 트랙은 photolithography 프로세스를 모니터링하고 제어하도록 설계되었습니다. 프로세스 효율성과 정확도를 극대화하기 위해 웨이퍼 이동, 시간, 온도, 기타 매개변수를 추적하는 일련의 센서와 전자 부품 (electronic component) 으로 구성됩니다. 결론적으로, SEMITOOL 860은 매우 효율적이고 신뢰할 수있는 포토리스 이스트 머신 (photoresist machine) 으로, 빠른 속도와 정확한 정확성으로 효율적인 사진 해설을 가능하게합니다. 즉, 사용자는 완벽한 구성 요소를 제공하여 운영 및 비용을 효율적으로 절감할 수 있습니다.