판매용 중고 SEMITOOL 860 #9265750

SEMITOOL 860 Photoresist Equipment는 CMP, 증착 및 에치 프로세스에 사용되는 전체 기능의 전기 화학 증착 시스템입니다. 정밀한 고해상도 포토레시스트 (photoresist) 레이어가 필요한 프로세스의 품질과 처리량을 향상시키도록 설계되었습니다. 수동 청소 (manual cleaning) 또는 증착 후 세척 단계 (post-deposition washing steps) 가 없어도 균일하고 부드러운 포토 esist 레이어를 생성 할 수 있습니다. 이 기능은 침수 탱크 장치 (Immersion Tank Unit) 를 사용하여 습식, 레벨링 및 표면 균일성을 최적화하는 클리닝 환경을 제공합니다. 이 기계는 기판을 검사하고 프로세스 매개변수를 최적화하여 균일 한 포토레지스트 코팅을 보장하는 자동 실시간 검색 (Real-Time Detect) 및 보정 (Compensate) 기능을 갖추고 있습니다. 이것은 다양한 기판 유형에 관계없이 일관된 결과를 보장합니다. 이 도구는 또한 2 단계 스핀 코팅 실버 할라이드 포토 시스트 (90 ° - 180 °) 와 단일 스텝 코팅 스프레이 적용 포토 시스트를 모두 갖추고 있습니다. 이렇게 하면 응용 프로그램에 가장 적합한 photoresist 유형을 선택할 때 더 큰 유연성을 얻을 수 있습니다. 860 은 컴퓨터가 제어하는 프로세스 개발 센터로, 새로운 프로세스의 빠르고 간편한 프로토타입과 특성을 제공합니다. 강력한 그래픽 프로그래밍 인터페이스 (Graphical Programming Interface) 를 사용하여 완전하게 자동화된 작업을 위한 상세한 프로세스 명령을 빠르고 쉽게 구성할 수 있으며, 다른 중요한 작업에 필요한 시간을 확보할 수 있습니다. 요약하자면, SEMITOOL 860은 품질이 일관되고 처리량이 최대인 고해상도 포토레지스트 (photoresist) 레이어를 생산하도록 설계된 강력하고 사용자 친화적인 포토레시스트 에셋입니다. 고급 기능을 통해 요구 사항이 많은 CMP, 증착 및 etch 프로세스에 이상적인 솔루션이 됩니다.