판매용 중고 SEMITOOL 840S #9088736

SEMITOOL 840S Photoresist Equipment는 반도체 웨이퍼 및 기타 기판의 초정밀 리소그래피 처리 제공을 위해 설계된 고급 장비입니다. 이 제품은 고성능, 일관된 구성 기술을 가능하게 하는 광범위한 기능을 제공합니다. 840S는 다이렉트 드라이브 (direct-drive), 오버헤드 (overhead) 자동 코팅 및 개발 솔루션으로, 광범위한 포토 esist 응용 프로그램을 지원할 수 있습니다. 그것의 우수한 엔지니어링은 국소 변동성을 줄이고, 반도체 웨이퍼를 직경이 3 ~ 12 인치로 처리 할 수 있습니다. 직관적이고 사용자 친화적인 설계로 설치, 운영, 사용, 유지 보수가 단순화되고, 견고한 재질과 건설은 앞으로 몇 년 동안 내구성과 안정성을 보장합니다. SEMITOOL 840S Photoresist System에는 마스킹 장치, 내장 전기 발전기, 진공 컨트롤러, 습식 벤치 및 전체 어셈블리를 작동하는 강력한 소프트웨어 제품군이 포함되어 있습니다. 이 사용자 친화적 인 장치 (user-friendly unit) 를 통해 엔지니어는 수동 프로세스에 필요한 시간 중 일부에 따라 포토리스 처리 단계를 프로그래밍하거나 조정할 수 있습니다. 처리 단계에는 자동 패턴 인식, 건식 및 습식 스핀 코팅, 프리 베이킹, 노출, 포스트 베이킹, 개발, 저항 스트리핑 및 잔류 제거가 포함됩니다. 또한 840S에는 네거티브 (negative) 및 포지티브 (positive) 저항을 처리하는 기능, 바인스핀 (betweenspin) 또는 증발 스핀 코팅 (evaporation spin coating) 옵션을 포함하여 대부분의 저항 재료에서 가장 높은 프로세스 성능을 보장하기위한 전체 진단 세트가 포함되어 있습니다. 최대 웨이퍼 수율, 가시 (visible), 자외선 및 적외선 이미징을 사용하여 결함 또는 오염을 감지합니다. 또한 이 기능은 즉석에서 문제를 파악하고 해결하는 데 도움이 됩니다. 또한, SEMITOOL 840S는 안전성을 염두에두고 설계되었으며, 웨이퍼의 존재를 감지할 수있는 최대 4 개의 통합 안전 센서 (Integrated Safety Sensor) 를 제공하며 웨이퍼가 떨어지거나 오버 핀되지 않도록 합니다. 마지막으로, 이 시스템은 필요에 따라 기술 지원을 제공하는 다단계 서비스 계획 (multi-level service plan) 에 의해 지원됩니다. 840S Photoresist Tool은 전문 반도체 제조를 위해 신뢰할 수 있고 효율적인 솔루션입니다.