판매용 중고 SEMITOOL 840S #84177

세미툴 840S (SEMITOOL 840S) 는 오늘날 반도체 산업의 요구를 충족시키기 위해 설계된 포토리스 장비입니다. 이 시스템은 포토레시스트 (photoresist) 프로세싱에서 가장 높은 정확도와 정밀도를 제공하며 다운타임을 최소화하면서 고성능 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 840S는 직관적이고, 사용자 친화적인 인터페이스를 통해 장치를 손쉽게 제어하고, 레시피 관리 기능을 향상시킵니다. 이 기계에는 통합 마이크로 스크러버 (micro-scrubber) 와 반복 가능한 정확도와 웨이퍼 위치를 위해 다중 축 웨이퍼 트랜스퍼 암 (multiple-axis wafer transfer arm) 이 장착 된 연마 플랫폼이 포함되어 있습니다. 이 도구에는 높은 온도에서 처리 할 때 열 드리프트를 줄이고 모델 성능을 유지하기 위해 펠티어 (Peltier) 냉각 에셋이 장착되어 있습니다. SEMITOOL 840S photoresist 장비는 다중 파장 레이저 시스템을 사용하여 photoresist 프로세스를 정확하게 제어합니다. 이 단위에는 다른 파장에서 포토 esist를 패턴화하기 위해 독립적 인 컨트롤을 가진 장파 (long-wave) 및 단파 (short-wave) 레이저가 모두 포함됩니다. 이 기계는 또한 보쉬 프로세스 모듈 (Bosch process module) 을 특징으로하며, 이는 최고의 포토 esist 패턴 결과를 얻기 위해 정확한 위치 정확도와 프로세스 변수를 제공합니다. 840S는 일관된 결과를 보장하기 위해 내장 안전 기능으로 설계되었습니다. 이 도구에는 먼지와 파편이 웨이퍼에 수집되지 않도록 모델 내부의 깨끗한 공기 환경을 유지하는 ACS (Atmosphere Control Asset) 가 장착되어 있습니다. 또한, 포토 esist 장비에는 레이저 조도를 모니터링하고 방사선의 확산을 제한하는 RCS (Radiation Containment System) 가 있습니다. SEMITOOL 840S는 SCI (Advanced Software Command Language) 를 특징으로하여 포토리스 장치 원격 모니터링 및 제어를 용이하게합니다. SCI 를 사용하면 데이터 수집 및 분석, 향상된 레시피 관리, 경보 알림 기능 등을 손쉽게 액세스할 수 있습니다. 또한이 기계는 100 개가 넘는 사전 프로그래밍 된 레시피를 실행할 수 있습니다. 840S는 모든 반도체 제조 시설에 적합한 포토 esist 도구입니다. 높은 정확도, 정확성, 반복성 (repeatability) 을 통해 사용자는 웨이퍼가 가장 엄격한 업계 사양을 충족할 수 있도록 보장할 수 있습니다. 사용자 친화적 인 인터페이스와 다양한 안전 기능으로 인해 SEMITOOL 840S는 모든 photoresist 처리 작업에 안전하고 신뢰할 수있는 옵션입니다.