판매용 중고 SEMITOOL 840F #151787

SEMITOOL 840F
제조사
SEMITOOL
모델
840F
ID: 151787
웨이퍼 크기: 4"
Spin rinse dryer, 4" 101 Controllers Digital Ferro Fluidic Seal Brushed Motor Electro polished Bowl Finish Polypropylene Cabinet “Aero Style” : New Color coded pneumatic lines Resistivity Option CE door lock requirement Rotors (1-2”, 1-4”) 4 bolt Complete Documentation Package Guaranteed Particle counts < 25 at 0.3 micron Manufactured and Qualified with 17 meg Ohm DI water and class 1 N2 Shipping Crate.
SEMITOOL 840F는 포토 esist를위한 고급 슬러리 처리 장비입니다. 이 "시스템 '은 사진술사 의 개발, 사진술, 에칭, 청소 과정 을 위해 설계 되었으며, 여러 가지 반도체 응용 에 적합 하다. 이 장치는 정밀 측정 머신 (precision metering machine) 과 고급 볼륨 제어 기능을 갖추고 있어 정확하고 반복 가능한 슬러리 응용 프로그램을 사용할 수 있습니다. 따라서 생산성이 향상되고, 보다 안정적인 결과를 얻을 수 있어 주기 시간이 단축됩니다. 견고한 제어 플랫폼은 정확하고, 반복 가능한 포토 esist 코팅 및 린스 기능을 보장하여 안정적이고 일관된 결과를 가져옵니다. 840F에는 4 개의 고성능 저항 분산 펌프가 장착되어 있어, 일관된 박막에 대한 저항의 균등 한 분배가 가능합니다. 이 도구는 온도 조절 전달 에셋 (tempering-controlled delivery asset) 을 가지고 있으며, 정확한 박막 코팅을 위해 정확한 온도와 점도에 대한 저항을 보장합니다. 이 모델은 이중 동작 배럴 (dual-action burrel) 동요를 특징으로하며, 포토 esist 슬러리를 정확하게 혼합하여 균일성과 반복 성을 향상시킵니다. 또한, 이중 패스 스루 (pass-through) 워시 기능은 저항 코팅 균일성을 향상시키고 수동 플러시 단계가 필요하지 않습니다. SEMITOOL 840F 는 구성요소가 허용되지 않거나 시스템 장애가 발생한 경우, 운영자에게 경고하는 강력한 경보 (alarm) 장비로 설계되었습니다. 또한 자동 자체 교정 (self-calibration) 및 유체 레벨 센서 (fluid level sensor) 를 갖추고 있어 수동 교정 없이 장치를 정확하게 유지할 수 있습니다. 이 기계의 설계는 입자 오염을 최소화하고, 유지 관리 및 다운타임을 줄이고, 공구 (tool) 가동 시간과 제품의 가용성을 연장합니다. 이 플랫폼은 또한 다양한 화학 물질 및 슬러리 제제 (slurry formulation) 와 호환되므로 사용자 정의 가능한 작동이 가능합니다. 840F는 많은 반도체 응용 프로그램에 적합한 포토 esist를위한 고급 Slurry Processing Asset입니다. 업계 최고의 설계로 고정밀 측정, 이중 동작 배럴 동요, 이중 패스 스루 (pass-through) 워시 기능 및 온도 조절 전달 모델을 제공하여 효율성, 반복 가능성 및 신뢰성을 극대화합니다.
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